當轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時，抽空腔的進氣部分容積擴張，將氣體通過吸入口吸入。氣體經(jīng)過污物防護罩，打開的防返油閥（7/54）進入泵腔。當轉(zhuǎn)子進一步旋轉(zhuǎn)，葉片從吸入口將泵腔部分分開。公司主要經(jīng)營：進口德國BECKER貝克、德國BUSCH普旭、法國LEYBOLD萊寶、德國RIETSCHLE偉力(里其樂)、英國愛德華,韓國DOOVAC斗一，日本ORION好利旺。這部分泵腔體積減少，氣體被壓縮。氣體在略高于大氣壓力時經(jīng)過排氣閥（6/20）從泵腔中排出。

油被注入泵腔起密封，潤滑和冷卻泵的作用。

壓縮氣體夾帶的油在油箱（6/27）內(nèi)由于折轉(zhuǎn)而被初步捕集。然后在出口過濾器元件（6/29）中被徹底過濾。于是，排氣中油含量下降至低于可見程度（捕集率大于99%）。

在出口過濾器中捕集的油經(jīng)過回油管（6/11）返回到進氣室。為了防止大氣壓下的氣體從油槽流入進口，回油管由一個浮球閥控制。

油循環(huán)是由油箱（壓力高于或等于大氣壓）和泵的進氣口（壓力低于大氣壓）之間存在的壓差維持的。一部分油取自油槽（6/27），經(jīng)過油過濾器（6/25）流到轉(zhuǎn)子的軸承支撐點和泵腔。兩個旋片把轉(zhuǎn)子、泵腔和兩個端蓋所圍成的月牙形空間分隔成A、B、C三部分，當轉(zhuǎn)子按箭頭方向旋轉(zhuǎn)時，與吸氣口相通的空間A的容積是逐漸增大的，正處于吸氣過程。注入泵內(nèi)油的另一部分不會通過油過濾器。所以，如果油過濾器偶然完全堵塞，通過具有足夠油量的第二線路確保潤滑，從而保證泵良好機械運轉(zhuǎn)。

然而在這種情況下，泵達不到規(guī)定的極限壓力。一般來說這表明油臟了或油過濾器被堵塞了。

在電機軸上旋轉(zhuǎn)的風扇產(chǎn)生冷卻所必須的空氣流，來通過冷卻盤管中的潤滑。

根據(jù)需求，可訂購帶氣鎮(zhèn)裝置（6/14）的泵（USA型號的泵氣鎮(zhèn)閥為標準配置）。

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真空泵排氣閥工作不正常，當然會影響到真空泵的真空度。所以真空泵維修中排氣閥門的拆修顯得至關(guān)重要。    真空泵拆修時，先把泵油放掉一部分，使油面下降到低于油窗。拆開油窗，取下閥片（或閥碗，球珠），檢查它們是否完好，平整，有彈性否，裝配是否牢固，合適，彈子蓋穿孔否。通常閥片應當能很平整地蓋住排氣孔。（5）較高的閃點：主要要求真空泵中不攜帶輕質(zhì)組分，以免影響油品的飽和蒸汽壓。大泵的閥片多為鋼片，是用彈簧壓緊的，應檢查閥片有無損壞，彈簧是否過硬致使閥片難以跳動。耐油橡膠閥片類則要檢查它們是否變形等。    在真空泵維修故障時，對真空泵進行狀況監(jiān)護，既能延長了真空泵運行周期，又能妥善安排維修內(nèi)容，提，節(jié)省人力財力和時間，是先進的維修方式。而要實行此種維修方式，就要建立在及時有效的故障診斷技術(shù)的基礎上，研究真空泵故障診斷就是要達到實施預防真空泵維修。對真空泵排氣閥門進行拆修時，要根據(jù)上述步驟來進行拆修，也可以送入專業(yè)的真空泵維修廠家進行拆修，但是不能擅自拆修，否則可能會損壞設備。

近年來, 受半導體制造、液晶注入、太陽能電池生產(chǎn)、電子器件等新興行業(yè)和薄膜制備、化工、制藥等傳統(tǒng)行業(yè)的帶動, 多級羅茨干泵作為核心裝備之一, 其研制和生產(chǎn)越來越受到重視。多級羅茨干泵滿足了IC 裝備制造業(yè)的工作溫度高、長期運轉(zhuǎn)穩(wěn)定、噪聲低、維護簡單、清潔無油等眾多要求, 是很有發(fā)展前景的一種干式真空泵。作為所有布勒萊寶光學設備的標準，每臺設備都可通過遠程軟件工具訪問，輕松地實現(xiàn)離站分析和檢修活動。但是, 除了加工及裝配要求精度高、加工難度大、一次性投入昂貴等制約因素外, 其設計理論和制造工藝亟待提高, 尤其包括羅茨型線的改善、加工成本的降低、間隙的確定、泄漏量的計算、泵內(nèi)的熱力學分析、轉(zhuǎn)子表面涂層、噪聲振動等難點問題, 制約了多級羅茨干泵研制和生產(chǎn)。