真空泵的使用范圍

   由于各種真空泵所具有的工作壓強范圍及起動壓強均有所不同，因此在選用真空泵時必須滿足這些要求。表3-1給出了各種常用真空泵的工作壓強范圍及泵的起動壓強值，以供參用。

   表3-1  常用真空泵的工作壓強范圍及起動壓強

真空泵種類          工作壓強范圍（Pa）            起動壓強（Pa）  

活塞式真空泵      1×100000～1.3×100              1×100000  

旋片式真空泵      1×100000—6.7×0.1              1×100000  

水環(huán)式真空泵      1×100000—2.7×1000             1×100000  

羅茨真空泵        1.3×1000—1.3                   1.3×1000  

渦輪分子泵        1.3—1.3×0.00005                1.3  

水蒸氣噴射泵      1×100000—1.3×0.1              1×100000  

油擴散泵          1.3×0.01—1.3×0.0000001        1.3×10  

油蒸氣噴射泵      1.3×10—1.3×0.01               <1.3×100000  

分子篩吸附泵      1×100000—1.3×0.1              1×100000  

濺射離子泵        1.3×0.001—1.3×0.000000001     6.7×0.1  

鈦升華泵          1.3×0.01—1.3×0.000000001      1.3×0.01  

鋯鋁吸氣劑泵      1.3×10—1.3×0.00000000001      1.3×10  

低溫泵            1.3—1.3×0.00000000001          1.3—1.3×0.1

真空泵的發(fā)展

  真空泵基本上可以分為兩種類型，即氣體捕集泵和氣體傳輸泵。其廣泛用于冶金、化工、食品、電子鍍膜等行業(yè)。隨著真空應(yīng)用的發(fā)展，真空泵的種類已發(fā)展了很多種，其抽速從每秒零點幾升到每秒幾十萬、數(shù)百萬升。真空泵的發(fā)展真空泵基本上可以分為兩種類型，即氣體捕集泵和氣體傳輸泵。隨著真空技術(shù)在生產(chǎn)和科學研究領(lǐng)域中對其應(yīng)用壓強范圍的要求越來越寬，大多需要由幾種真空泵組成真空抽氣系統(tǒng)共同抽氣后才能滿足生產(chǎn)和科學研究過程的要求，由于真空應(yīng)用部門所涉及的工作壓力的范圍很寬，因此任何一種類型的真空泵都不可能完全適用于所有的工作壓力范圍，只能根據(jù)不同的工作壓力范圍和不同的工作要求，使用不同類型的真空泵。為了使用方便和各種真空工藝過程的需要，有時將各種真空泵按其性能要求組合起來，以機組型式應(yīng)用。

常用真空泵包括干式螺桿真空泵、水環(huán)泵、往復泵、滑閥泵、旋片泵、羅茨泵和擴散泵等，這些泵是我國國民經(jīng)濟各行業(yè)應(yīng)用真空工藝過程中必不可少的主力泵種。近年來， 伴隨著我國經(jīng)濟持續(xù)高速發(fā)展，真空泵相關(guān)下游應(yīng)用行業(yè)保持快速增長勢頭，同時在真空泵應(yīng)用領(lǐng)域不斷拓展等因素的共同拉動下，我國真空泵行業(yè)實現(xiàn)了持續(xù)穩(wěn)定地快速的發(fā)展。真空單位的換算真空單位一般可以用相對真空度真空度來標識，下面我們來講一下相對真空度和真空度的換算。