半導(dǎo)體工業(yè)用的氣體統(tǒng)稱電子氣體。按其門類可分為純氣，高純氣和半導(dǎo)體特殊材料氣體三大類。特殊材料氣體主要用于外延，摻雜和蝕刻工藝；高純氣體主要用作稀釋氣和運載氣。電子氣體是特種氣體的一個重要分支。再者，氦的執(zhí)導(dǎo)率高，增加了人仃熱損失率，以至于常常必須使用有效的潛水衣和呼吸氣預(yù)熱器。電子氣體按純度等級和使用場合，可分為電子級，LSI（大規(guī)模集成電路）級，VLSI（超大規(guī)模集成電路)級和ULSI(特大規(guī)模集成電路）級。    

           近幾年來，智研數(shù)據(jù)研究中心隨著我國超大規(guī)模集成電路、平板顯示器、光伏發(fā)電等產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展，電子氣體市場需求量明顯增長，電子特種氣體的國產(chǎn)化已是大勢所趨。據(jù)了解，我國在國產(chǎn)化方面取得可喜進(jìn)展：國產(chǎn)高純氨改變了國外氣體公司壟斷市場的格局，高純四氟化碳“有價無貨”時代也宣告結(jié)束，高純已成功打開。若一系統(tǒng)中所包含的基本單元（可以是原子、分子、離子、電子或其他粒子）數(shù)與0。

電子氣體主要包括：、、乙、化氫、硒化氫、、四氟化碳、化三氫、、三氯化硼、三氟甲烷、三氟化氮、、六、六氟化鎢、六氟化硫、、磷烷、、、氣、氨氣、電子級等.

其中六氟化硫、電子級、、磷烷使用較多。

 氦氣是惰性氣體，無毒，性質(zhì)也不活潑，對人體無害。但是大量吸入會導(dǎo)致窒息甚至！氦氣畢竟不是氧氣，過多吸入氦氣會導(dǎo)致人體缺氧，輕者會感覺疲憊，重者可能會頓時眼前發(fā)黑直接窒息昏迷！氦氣在電弧溫度條件下的惰性使其成為鋁、不銹鋼、銅和鎂合金等高導(dǎo)熱性材料焊接的理想氣體，還可用作熱處理過程中的淬火氣體以及熔爐氣體，提升零件耐性和質(zhì)量。更有甚者不是通過氣球來吸入氦氣，如果是由高壓氣瓶中直接吸入高純氦氣，那么其高流速就會嚴(yán)重地破壞肺部組織，直接對人體造成傷害！

 氦氣高濃度時，使氧分降低而發(fā)生窒息。氦濃度達(dá)到50%以上引起嚴(yán)狀；呼吸加速，注意力   不集中，疲倦乏力，惡心、嘔吐。75%以上時可在數(shù)分鐘內(nèi)。

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