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電解蝕刻機
電蝕刻是利用金屬在以自來水或鹽水為蝕刻主體的液體中發(fā)生陽極溶解的原理,(電解的作用下)將金屬進行蝕刻,接通蝕刻電源,從而達到蝕刻的目的。市售的電解蝕刻機都是手動噴淋式的,并且都是以鹽水為蝕刻溶液,功率有大小二種,優(yōu)點:無污染,但只有蝕刻一個步驟無污染是不行的,其他工序也必須無污染,適合實驗生產(chǎn)、凹字小面積蝕刻。主要用做研究實驗機,或者簡單的在金屬上蝕刻標記,也稱為電打標。缺點:蝕刻面不均勻,大面積腐蝕速度慢,不能用于量產(chǎn),也不能做凸字大面積蝕刻,不能用做標牌的大批量生產(chǎn)加工。由于電解蝕刻是在金屬導電的情況下形成蝕刻的,那么我們的產(chǎn)品在蝕刻下去有任何的深度時側面也將被蝕刻的,這樣很多精細圖案,精細文字將被蝕刻”爛“掉。
光刻技術,重頭戲是物理技術,光刻的前道工序如涂膠,后道如顯影,都是化學技術,對機器要求不算高。唯獨曝光工序才是難的,其中難又在于光刻機,也就是一只巨型單反相機,其光源和鏡頭,還有控制技術估計已經(jīng)是人類的極限了,巨難做。刻蝕說得形象點就是沿著曝光圖形刻槽,化學成分比較大,并不算十分關鍵的設備,我朝的刻蝕機技術還是很不錯的。
光刻機和刻蝕機的區(qū)別:
刻蝕相對光刻要容易。光刻機把圖案印上去,然后刻蝕機根據(jù)印上去的圖案刻蝕掉有圖案(或者沒有圖案)的部分,留下剩余的部分。
“光刻”是指在涂滿光刻膠的晶圓(或者叫硅片)上蓋上事先做好的光刻板,然后用紫外線隔著光刻板對晶圓進行一定時間的照射。原理就是利用紫外線使部分光刻膠變質,易于腐蝕。
“刻蝕”是光刻后,用腐蝕液將變質的那部分光刻膠腐蝕掉(正膠),晶圓表面就顯出半導體器件及其連接的圖形。然后用另一種腐蝕液對晶圓腐蝕,形成半導體器件及其電路。