磁控濺射鍍膜設備技術(shù)的特點

(1)離子轟擊滲擴更快因為選用低溫等離子無心插柳，為滲劑分子和正離子的吸咐和滲人造就了高寬比活性的表層，提升了結(jié)晶中缺點的相對密度，比傳統(tǒng)式的汽體滲擴技術(shù)性速率明顯增強。磁控濺射鍍膜設備技術(shù)的特點(1)鋼件形變小因為鋼件表層勻稱遮蓋輝光，溫度完整性好，能夠根據(jù)操縱輸出功率輸出來保持勻稱提溫。在一樣加工工藝標準下，滲層深度1在0.05二以內(nèi)，比汽體滲擴提升1倍。在較高溫度下，1h就能達lmm厚。

(2)對鋼件表層改性材料成效顯著，工藝性能高，真空泵加溫易清除高溫冶煉廠時融解的汽體，并可根據(jù)滲人金屬材料更改PCB的機構(gòu)和構(gòu)造，使耐磨性能、耐蝕性、強度和斷裂韌性等眾多特性獲得改進。如果轟擊離子能量很高時，濺射的原子數(shù)與轟擊離子數(shù)之比值將減小，這是因為轟擊離子能量過高而發(fā)生離子注入現(xiàn)象的緣故。而且因為清理功效，使金屬材料粗糙度減少，除去不銹鋼鈍化的殘渣和廢棄物，改進了金屬材料的工藝性能。 

(3)加工工藝適應能力強，有利于解決方式繁雜的鋼件。實際上，每個設備都有使用壽命，例如，擴散泵用的硅油，使用壽命為兩年左右，我們提早更換，這是浪費嗎。傳統(tǒng)式的正離子注人技術(shù)性的致命性缺點是注人全過程是1個視野全過程，只能曝露在正離子搶口下的鋼件表層能夠被注人，針對鋼件中必須表層改性材料的內(nèi)表層或管溝表層等，離子束則很難達到，而且一回只有注一人鋼件，注人率低，機器設備繁雜價格昂貴

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直流磁控濺射技術(shù)

為了解決陰極濺射的缺陷，人們在20世紀開發(fā)出了直流磁控濺射技術(shù)，它有效地克服了陰極濺射速率低和電子使基片溫度升高的弱點，因而獲得了迅速發(fā)展和廣泛應用。在這種級聯(lián)過程中某些表面附近的靶原子獲得向外運動的足夠動量，離開靶被濺射出來。其原理是：在磁控濺射中，由于運動電子在磁場中受到洛侖茲力，它們的運動軌跡會發(fā)生彎曲甚至產(chǎn)生螺旋運動，其運動路徑變長，因而增加了與工作氣體分子碰撞的次數(shù)，使等離子體密度增大，從而磁控濺射速率得到很大的提高，而且可以在較低的濺射電壓和氣壓下工作，降低薄膜污染的傾向；另一方面也提高了入射到襯底表面的原子的能量，因而可以在很大程度上改善薄膜的質(zhì)量。同時，經(jīng)過多次碰撞而喪失能量的電子到達陽極時，已變成低能電子，從而不會使基片過熱。因此磁控濺射法具有“高速”、“低溫”的優(yōu)點。該方法的缺點是不能制備絕緣體膜，而且磁控電極中采用的不均勻磁場會使靶材產(chǎn)生顯著的不均勻刻蝕，導致靶材利用率低，一般僅為20%-30%。

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磁控濺射鍍膜機

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目前國內(nèi)窗膜行業(yè)的批發(fā)商及終端店很多人都吃過磁控鍍銀膜氧化的虧，產(chǎn)品賣出后幾個月，開始大面積氧化，需要賠償，甚至還失去了客戶。特別是NSN系列在13、14年出的問題特別多，搞得很多人談磁控膜色變的地步。當金屬靶材撞向零件時由于能量轉(zhuǎn)化，與反應氣體化合生成氮化物或氧化物。而在15、16年后，問題得到解決。慢慢地就沒多少氧化問題出現(xiàn)了。這也讓很多剛接觸磁控膜的人以為磁控膜都是鍍銀的膜，一說磁控膜就問會不會氧化。其實大可不必擔心，大部分的側(cè)檔都不是銀的，請放心使用。且這兩年的技術(shù)進步，國內(nèi)各磁控工廠也找到了解決氧化的方法。其實在玻璃鍍膜行業(yè)，早就解決了氧化問題，我記得早期的low-e玻璃在鍍膜后必須在24小時內(nèi)合成中空，不然就會氧化。當時low-e與中空都是鍍膜廠做的，下邊玻璃加工廠根本無法介入，而現(xiàn)在鍍膜廠只需生產(chǎn)玻璃鍍膜原片。且玻璃原片爆露在空氣中可達6個月以上，都不會氧化。這樣中空玻璃，一些門窗廠，幕墻公司、小規(guī)模的玻璃深加工工廠，都可以生產(chǎn)low-e中空玻璃了，加上政府政策的支持與引導，大大的加快了low-e玻璃的發(fā)展與普及。做窗膜磁控濺射鍍膜的應多去看看玻璃行業(yè)的low-e鍍膜，多些交流。畢竟生產(chǎn)原理是一樣的東西，技術(shù)是相通的。很多東西是可以套用的，low-e鍍膜得到了規(guī)?；陌l(fā)展，技術(shù)工藝已非常成熟了。窗膜磁控濺射鍍膜終是要與玻璃配套的，如何與玻璃上直接鍍膜做差異化發(fā)展，才是正道。就目前來說，僅從隔熱性能、保溫性能上與玻璃對抗，是不可能有成本上優(yōu)勢的。但都是鍍膜，如何做差異化，我目前也只是拋磚引玉，只有大家一起開動腦袋了。

磁控濺射鍍膜機的優(yōu)勢

1.實用性：設備集成度高，結(jié)構(gòu)緊湊，占地面積小，可以滿足客戶實驗室空間不足的苛刻條件；通過更換設備上下法蘭可以實現(xiàn)磁控與蒸發(fā)功能的轉(zhuǎn)換，實現(xiàn)一機多用；

2.方便性：設備需要拆卸的部分均采用即插即用的方式，接線及安裝調(diào)試簡單，既保證了設備使用方便又保證了設備的整潔；

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