1-100 級(jí)的電子廠凈化車(chē)間，均采用單向流的氣流組織送風(fēng)方式，即電子廠電子廠凈化車(chē)間內(nèi)的氣流在同一截面的任意一點(diǎn)，氣流的方向和速度均保持一致，這樣可以使清潔空氣象“活塞”一樣，將室內(nèi)的塵埃粒子以快的速度帶走。

1000-10 萬(wàn)級(jí)電子廠凈化車(chē)間的氣流組織方向和 100 級(jí)以上的電子廠電子廠凈化車(chē)間不同，室內(nèi)的氣流是以不均勻的速度呈不平行流動(dòng)的，伴有回流或渦流，它主要靠潔凈的氣流不斷稀釋室內(nèi)空氣，將室內(nèi)的污染逐漸排出，來(lái)實(shí)現(xiàn)凈化。不同的凈化等級(jí)，主要是依靠單位時(shí)間內(nèi)所送風(fēng)量的不同來(lái)實(shí)現(xiàn)的。

無(wú)塵車(chē)間的核心要素

無(wú)塵車(chē)間潔凈技術(shù)的核心 無(wú)塵車(chē)間這個(gè)概念大家并不陌生，尤其是對(duì)眾多加工制造行業(yè)。我們每個(gè)人對(duì)無(wú)塵車(chē)間的認(rèn)識(shí)并不統(tǒng)一，出發(fā)的角度和看重的細(xì)節(jié)也各有出入。 有些廠家是做凈化設(shè)備，承接百級(jí)至三十萬(wàn)級(jí)無(wú)塵車(chē)間的設(shè)計(jì)施工，主要必備凈化設(shè)備如：風(fēng)淋室、傳遞窗、FFU、過(guò)濾器、凈化工作臺(tái)、潔凈棚、送風(fēng)口，這些設(shè)備在突出各自性能的同時(shí)也要保持整體效率的協(xié)調(diào)和穩(wěn)定，這就需要從自身實(shí)際需求出發(fā)，根據(jù)預(yù)算，產(chǎn)品性能、價(jià)格、兼容性、維修保養(yǎng)、更換周期、售后服務(wù)等方面綜合考慮。 又比如做無(wú)塵服的廠家就認(rèn)為人體是潔凈室內(nèi)污染源，一件合格的無(wú)塵防靜電服對(duì)維持潔凈室的環(huán)境至關(guān)重要，從而對(duì)無(wú)塵服(潔凈性能、靜電性能、耐久性和舒適性)的生產(chǎn)、設(shè)計(jì)和選購(gòu)進(jìn)行研究。 根據(jù)級(jí)別的需求不同，無(wú)塵車(chē)間的構(gòu)造和選材不盡相同。

電子潔凈車(chē)間

凈化車(chē)間主要之作用在于控制產(chǎn)品（如硅芯片等）所接觸的大氣的潔凈度以及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造，此空間我們稱(chēng)之為凈化車(chē)間。

     按照國(guó)際慣例，無(wú)塵凈化級(jí)別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來(lái)規(guī)定。也就是說(shuō)所謂無(wú)塵并非100%沒(méi)有一點(diǎn)灰塵，而是控制在一個(gè)非常微量的單位上。當(dāng)然這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合灰塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒相對(duì)于我們常見(jiàn)的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微，但是對(duì)于光學(xué)構(gòu)造而言，哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的灰塵都會(huì)產(chǎn)生非常大的影響，所以在光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上，凈化車(chē)間無(wú)塵是必然的要求。

    每立方米將小于0.3微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個(gè)以下，就達(dá)到了國(guó)際無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)的級(jí)。目前應(yīng)用在芯片級(jí)生產(chǎn)加工的無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)對(duì)于灰塵的要求高于級(jí)，這樣的高標(biāo)主要被應(yīng)用在一些等級(jí)較高芯片生產(chǎn)上。5μm及以下的微塵數(shù)量被嚴(yán)格控制在每立方米1000個(gè)以?xún)?nèi)，這也就是業(yè)內(nèi)俗稱(chēng)的1K級(jí)別。