精密和超精密加工技術簡介

就先進制造技術的技術實質性而論，主要有精密和超精密加工技術與制造自動化兩大領域。前者包括了精密加工、超精密加工、微細加工，以及廣為流傳的納米加工，它追求加工上的精度和表面質量的極限，可統(tǒng)稱為精密工程；隨著國家決策的科學化、民主化進程不斷深入，相信我國的制造業(yè)會更快速、更健康地發(fā)展。后者包括了設計、制造和管理的自動化，它不僅是快速響應市場需求、提高生產率、改善勞動條件的重要手段，而且是提高產品質量的有效方式。兩者密切聯系，許多精密和超精密加工要靠自動化技術才能達到預期目標，而不少制造自動化則有賴于精密加工才能達到設計要求。

1981年美國IBM公司研制成功的掃描隧道顯微鏡(STM)，將人們帶到了微觀世界。STM具有極高的空間分辨率(平行和垂直于表面的分辨率分別達到0.1?nm和0.01?nm，即可分辨出單個原子)，廣泛應用于表面科學、材料科學和生命科學等研究領域，在一定程度上推動了納米技術的產生和發(fā)展。與此同時，基于STM相似原理與結構，相繼產生了一系列利用探針與樣品的不同相互作用來探測表面或界面在納米尺度上表現出來性質的掃描探針顯微鏡(SPM)，用來獲取通過STM無法獲取的有關表面結構和性質的各種信息。精密和超精密加工技術簡介就先進制造技術的技術實質性而論，主要有精密和超精密加工技術與制造自動化兩大領域。