氦分子在儀器高真空的環(huán)境中擴散的速度很高;所以氦質(zhì)譜檢漏儀在許多領(lǐng)域里得到廣泛的應(yīng)用,選購檢漏儀時注意檢漏需求和設(shè)備功能的匹配度，不同的產(chǎn)品檢漏操作時所需要的模式等都有著顯著的區(qū)別，消費者在選購氦質(zhì)譜檢漏儀時必須要根據(jù)產(chǎn)品的檢測功能需求進(jìn)行挑選，檢漏儀全無油的干式檢漏：有些國家生產(chǎn)的檢漏儀，可采用干式泵，達(dá)到無油蒸氣的效果，為無油系統(tǒng)及芯片等半導(dǎo)體器件的檢漏，提供了有利條件。

測定漏率型主要是針對密封性要求嚴(yán)格的部件進(jìn)行檢測,如宇宙飛船、液體燃料儲料箱、、電子元器件等。 氦質(zhì)譜檢漏方法在真空檢漏技術(shù)領(lǐng)域里已經(jīng)得到廣泛的應(yīng)用,這種方法的優(yōu)點是:檢漏靈敏度高,可以檢漏到10 -11 Pam3 / s 數(shù)量級,儀器響應(yīng)快,選購檢漏儀時注意檢漏需求和設(shè)備功能的匹配度，不同的產(chǎn)品檢漏操作時所需要的模式等都有著顯著的區(qū)別，消費者在選購氦質(zhì)譜檢漏儀時必須要根據(jù)產(chǎn)品的檢測功能需求進(jìn)行挑選，

消費者在選購氦質(zhì)譜檢漏儀時必須要注意這種儀器自身的能力和消費的需求，并且在挑選氦質(zhì)譜檢漏儀時注意這種設(shè)備的價格和操作模式，氦質(zhì)譜檢漏儀的內(nèi)部一般有標(biāo)準(zhǔn)漏孔，可將標(biāo)準(zhǔn)漏孔拆卸進(jìn)行校準(zhǔn)，如果不能單獨校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)漏孔，就可考慮直接通過氦質(zhì)譜檢漏儀進(jìn)行漏率部分的校準(zhǔn)。吸氦法主要用于檢查某些大型密封容器。如彈體、、氣罐、油罐等,先將容器抽真空,再給容器充入氦氣(為了節(jié)省用氦量,可以用低濃度氦氣)