凈化車間功能溫度測試，應(yīng)將潔凈工作區(qū)劃分為等面積的柵格，每個分格面積不超過100平方米或與建設(shè)方協(xié)商確定，每格測點1個以上，每個房間測點至少2個。（1）潔凈隧道（CleanTunnel）：以HEPA或ULPA過濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域100%覆蓋使?jié)崈舳鹊燃壧岣咧?0級以上，可節(jié)省安裝運轉(zhuǎn)費用。測試高度應(yīng)為工作面高度，距的吊頂、墻面和地面不小于300MM，并應(yīng)考慮熱源等的影響，測量時間應(yīng)至少1H，并至少6min測量一次，讀數(shù)穩(wěn)定后做好記錄。凈化車間一般溫度測試的測點，每個溫度控制區(qū)或每個房間1個測點，測試點高度宜為工作面高度，測量時間應(yīng)至少1H，并至少6min測量一次，讀數(shù)穩(wěn)定后做好記錄。