氦質(zhì)譜檢漏儀的應(yīng)用

（1）電子行業(yè)，微波發(fā)射管、電子管、晶體管、集成電路、密封繼電器、各類傳感器、心臟起博器。

（2）真空行業(yè)，儀器、儀表行業(yè)，管道、接頭、閥門、波紋管、各種真空泵、各類排氣機組、電鏡、質(zhì)譜儀、電子束離子速暴光機、激光軸分離器、鍍膜機、薄膜真空計。

（3）核工業(yè)，鈾分離裝置、存儲裝置、核發(fā)電裝置。

（4）制冷行業(yè)，冰箱、空調(diào)、汽車用空調(diào)、蒸發(fā)器、冷凝器、壓縮機、低溫儲槽。

（5）不銹鋼保溫器皿，真空保溫杯、瓶、鍋、飯盒等。

（6）核工業(yè)、航空工業(yè)、航天工業(yè)、船舶工業(yè)、軍事電子六大類。

氦質(zhì)譜檢漏儀是如何工作的？

氦質(zhì)譜檢漏儀由離子源、分析器、真空系統(tǒng)、電子線路及其他電氣部分組成。為了方便解釋氦質(zhì)譜檢漏儀是如何工作的，我們以磁偏轉(zhuǎn)型的氦質(zhì)譜檢漏儀為例進行說明。

在質(zhì)譜室的離子源N內(nèi)，氣體被電離成離子。在電場作用下離子聚焦成束，并以一定的速度經(jīng)由縫隙S1進入磁分析器，在均勻磁場的作用下，具有一定速度的離子束，將按圓形軌跡運動。調(diào)節(jié)加速電壓U使氦離子束M2恰能通過縫隙S2到達收集極K而形成離子流。利用弱電流量測設(shè)備，使之在輸出儀表與音響裝置上反映出來。而其他不同于M2的離子束（如圖中M1，M3）則以不同的偏轉(zhuǎn)半徑而被分開。

氦質(zhì)譜檢漏儀的結(jié)構(gòu)

氦質(zhì)譜檢漏儀的電氣部分。氦質(zhì)譜檢漏儀除了主機供電部件和主機控制部件外，還有幾組主要電路：

1、離子源電源。為離子源提供加速、聚集、拒斥電壓。

2、發(fā)射電流穩(wěn)定電路。穩(wěn)定和調(diào)節(jié)發(fā)射電流。

3、離子流放大器和單響報警器。將離子流進行放大并將輸出信號送入輸出儀表或顯示器和音響報警器。

4、真空測量電路。一般用熱偶計測量低真空，用冷陰極磁控放電真空計測量高真空。

5、燈絲保護電路。當質(zhì)譜室正常工作壓力被破壞后，立即切斷燈絲供電回路，以保護燈絲。

6、其他電路。不同型號的氦質(zhì)譜檢漏儀所具有的功能不盡相同，所以電路也有不少差別，這在各自的說明書中都有說明。

氦質(zhì)譜檢漏儀的不同測量方法滿足多種需求

氦質(zhì)譜檢漏儀中氦質(zhì)譜檢漏系統(tǒng)的關(guān)鍵部件均為進口，性能穩(wěn)定可靠。秀長的體積，優(yōu)越的性能，適用于眾多行業(yè)。運用了氦質(zhì)譜和逆擴散原理,采用了原裝進口分子泵、180°非均勻磁場和全自動控制技術(shù)，實現(xiàn)了自動氦峰掃描、自動調(diào)零、自動校準和自動量程切換,具有檢測速度快、檢測靈敏度高、抗干擾能力強等特點。氦質(zhì)譜檢漏儀可以對具有內(nèi)腔的微電子或半導體器件封裝的氣密性進行細檢漏。 此檢測方法使用的示蹤氣體選擇了氦氣，氦氣具有質(zhì)量數(shù)小、重量輕并且有滲透能力強的優(yōu)點，達到了細檢漏的目的。

氦質(zhì)譜檢漏儀特點：

1.檢測時間和響應(yīng)周期非常短，可以達到2s以內(nèi)；

2.檢測的介質(zhì)比較常用，僅需壓縮空氣即可；

3.多種大漏保護模式，充分保護離子源不被氧化和暴漏大氣時分子泵不被沖擊；

4.大漏檢測功能：可通過預(yù)設(shè)壓力，抽空時，達不到預(yù)設(shè)值，檢漏儀自動報警提示。

5.多種計量單位選擇，檢測數(shù)據(jù)實時更新，直接輸出生成Excel表格。