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全球氦氣緊張狀況,特種氣體是光電子、微電子等領(lǐng)域
全球氦氣緊張狀況,特種氣體是光電子、微電子等領(lǐng)域,特別是超大規(guī)模集成電路、液晶顯示器件、非晶硅薄膜太陽(yáng)能電池、半導(dǎo)體發(fā)光器件和半導(dǎo)體材料制造過程不可缺少的基礎(chǔ)性支撐源材料。它的純度和潔凈度直接影響到光電子、微電子元器件的質(zhì)量、集成度、特定技術(shù)指標(biāo)和成品率,并從根本上制約著電路和器件的性和準(zhǔn)確性。半導(dǎo)體照明是正處于方興未艾的產(chǎn)業(yè),隨著化合物半導(dǎo)體市場(chǎng)的擴(kuò)展,特種氣體的需求呈現(xiàn)更大的增長(zhǎng),外延生長(zhǎng)需要大量的超純?cè)春瓦^程氣體。
雙怠速氣體中的零氣和低氣可以和穩(wěn)態(tài)共用
雙怠速氣體中的零氣和低氣可以和穩(wěn)態(tài)共用,前文有描述,在此就不贅述,因穩(wěn)態(tài)工況法和雙怠速法基本上是共用分析儀,不少地方主管部門也認(rèn)可,滿足穩(wěn)態(tài)的要求即可,則此處又可省掉一瓶雙怠速高氣。后一個(gè)要說的是氮?dú)猓虼藲怏w應(yīng)用在氧傳感器響應(yīng)時(shí)間的檢查上,主要就是氣體含量中不能含氧氣(O2),這個(gè)可以找高標(biāo)氣替代,且高標(biāo)氣的使用頻次相對(duì)低標(biāo)氣來說也要低,充分利用。但也要說明,氮?dú)馀c高標(biāo)氣比價(jià)格較低,需綜合考慮。理論上是可以節(jié)約出一瓶氣來。
氧氣的大規(guī)模出產(chǎn)辦法是分餾液態(tài)空氣
氧氣是空氣的成分之一,無色,無味,無味。氧氣的密度大于空氣的密度,在標(biāo)準(zhǔn)條件下(0°C和大氣壓101325Pa),密度為1.429g/l。氧氣的大規(guī)模出產(chǎn)辦法是分餾液態(tài)空氣。首要,空氣被緊縮,并且在脹大和脹大之后被凍的結(jié)為液態(tài)空氣。因?yàn)橄∮袣怏w和氮?dú)獾姆悬c(diǎn)低于氧氣,因而分餾后,剩下的便是液態(tài)氧,可存放在高壓鋼瓶中。高純氧氣管道設(shè)計(jì)要點(diǎn)。
高純氦氣高壓低溫冷凝、吸附法
高純氦氣高壓低溫冷凝、吸附法是一種經(jīng)典可靠的純化技能,該技能工藝?yán)暇?,被廣泛應(yīng)用在高純度高純氦氣的提純工藝中。高純氧氣用于二氧化硅的化學(xué)氣相沉積;作為氧化源和出產(chǎn)高純水的試的劑;干氧化與四氟化碳混合用于等離子體蝕刻。應(yīng)留意高純氧氣的安全,并應(yīng)做好防震,防火,耐熱和防油等作業(yè)。高純氧氣能夠促進(jìn)燃燒。應(yīng)將其保存在陰涼處。禁止觸摸煙的花和宜燃材料。請(qǐng)勿在氧氣計(jì)的螺旋形嘴上放油。