先將有機(jī)廢氣用活性炭吸附，當(dāng)快達(dá)到飽和時(shí)停止吸附，然后用熱氣流將有機(jī)物從活性炭上脫附下來(lái)使活性炭再生；脫附下來(lái)的有機(jī)物送往催化燃燒室催化燃燒成二氧化碳及水蒸氣排出。燃燒后的尾氣一部分排入大氣，大部分被送往吸附床，用于活性炭再生。這樣既可以利用活性炭的吸附能力進(jìn)行有機(jī)廢氣的凈化處理，又可以對(duì)活性炭進(jìn)行脫附時(shí)刻保持活性炭的吸附能力。

無(wú)論哪一種形式產(chǎn)生的等離子體，都需要高壓放電。容易打火產(chǎn)生危險(xiǎn)。由于對(duì)諸如氣態(tài)污染物的治理，一般要求在常壓下進(jìn)行。

當(dāng)廢氣進(jìn)入催化氧化系統(tǒng)時(shí)，電加熱器將100Nm3/h空氣由常溫加熱到250℃，保證催化床層溫度（當(dāng)催化氧化反應(yīng)器入口溫度達(dá)到280℃時(shí)，電加熱器停止工作，當(dāng)催化氧化反應(yīng)器入口溫度低于250℃電加熱器再次開(kāi)啟，由于進(jìn)出催化氧化反應(yīng)器的氣體經(jīng)過(guò)充分的熱交換，正常狀況下，電加熱器工作時(shí)間很短）。當(dāng)有廢氣進(jìn)入催化氧化系統(tǒng)時(shí)，VOCs氧化分解放出的熱量經(jīng)過(guò)氣氣換熱器回收，電加熱器不需要工作。

經(jīng)過(guò)電加熱器后的廢氣進(jìn)入催化氧化反應(yīng)器，氣體中的VOCs通過(guò)催化劑的催化作用，分解為二氧化碳和水。催化氧化反應(yīng)器內(nèi)部床層設(shè)置四個(gè)溫度探頭，催化氧化反應(yīng)器出口設(shè)置一個(gè)溫度探頭，當(dāng)任何一個(gè)測(cè)量點(diǎn)溫度超過(guò)450℃時(shí)，冷卻空氣閥打開(kāi)，補(bǔ)入冷空氣降低床層溫度（補(bǔ)風(fēng)管線設(shè)置雙向防爆轟型阻火器）。當(dāng)所有探頭溫度降到400℃以下時(shí)，冷卻空氣閥關(guān)閉。