概述

愛德華 E2M80 系列雙級油封旋轉(zhuǎn)葉片真空泵因其高極限真空、高抽速、低運(yùn)行噪音和水蒸汽處理能力而享有盛譽(yù)。這些直聯(lián)式旋片泵設(shè)計(jì)緊湊且無振動(dòng)，配備防傷手風(fēng)扇和聯(lián)軸器殼體，可為操作人員提供保護(hù)。

這種泵能勝任大多數(shù)工作，并且可在其正常運(yùn)行參數(shù)范圍內(nèi)，安全地處理非易燃?xì)怏w和蒸汽。

應(yīng)用

真空冶金加工

薄膜覆層技術(shù)

制藥冷凍干燥

冷凍和空調(diào)系統(tǒng)抽空、干燥和回填

變壓器和電纜干燥及浸漬、絕緣油處理工廠

燈具制造

低溫容器抽空

化工行業(yè)中的真空干燥和蒸餾

半導(dǎo)體設(shè)備制造

用于高真空應(yīng)用的前級泵

技術(shù)數(shù)據(jù)

排量    

 50Hz    80 m3h-1/47.1 ft3min-1

 60Hz    96 m3h-1/56.5 ft3min-1

速度 (Pneurop)    

 50Hz    74 m3h-1/43.6 ft3min-1

 60Hz    90 m3h-1/53 ft3min-1

級數(shù)    2

極限真空（總壓力）    

 不帶氣鎮(zhèn)    1 x 10-3 mbar/7.7 x 10-4 Torr

 帶氣鎮(zhèn)    7 x 10-3 mbar/5.4 x 10-3 Torr

極限（帶 Fomblin?）    

 不帶氣鎮(zhèn)    1 x 10-2 mbar

進(jìn)氣口連接    ISO40

出口連接    適用于 NW25 的 25 mm 法蘭

出口壓力    0.5 bar 表壓

水蒸汽的進(jìn)氣口壓力    5 mbar / 3.8 Torr

水蒸汽抽速    0.3 kg h-1/0.7 lb h-1

重量    125 kg/275 lb

電機(jī)保護(hù)額定值    IP55

電機(jī)功率    

 50Hz    2.2 kW/3 hp

 60Hz    3 kW/4 hp

標(biāo)準(zhǔn)油量    

      6.3 升/6.7 qt

      4 升/4.2 qt

PFPE 油量    

      4.01 升/4.2 qt

      2.19 升/2.3 qt

推薦用油    Ultragrade 70

噪音級別    70 dB(A)

愛德華E2M80概述：

愛德華 E2M80 系列雙級油封旋轉(zhuǎn)葉片真空泵因其高極限真空、高抽速、低運(yùn)行噪音和水蒸汽處理能力而享有盛譽(yù)。這些直聯(lián)式旋片泵設(shè)計(jì)緊湊且無振動(dòng)，配備防傷手風(fēng)扇和聯(lián)軸器殼體，可為操作人員提供保護(hù)。這種泵能勝任大多數(shù)工作，并且可在其正常運(yùn)行參數(shù)范圍內(nèi)，安全地處理非易燃?xì)怏w和蒸汽。

惠州市明勝機(jī)電設(shè)備有限公司制造銷售各種真空泵，并提各類真空泵維修保養(yǎng)服務(wù)（羅茨，螺桿，旋片式，干式，水環(huán)式等真空泵維修保養(yǎng)）以及各類進(jìn)口真空泵配件耗材。服務(wù)品牌：普旭（博世）、里其樂、萊寶、貝克、愛發(fā)科、愛德華、大晃、斗一，阿爾卡特等進(jìn)口真空泵。價(jià)格合理，優(yōu)質(zhì)服務(wù)，歡迎前來咨詢。

金屬電鍍

如今的某些 制程使用金屬有機(jī)前體物，當(dāng)這些金屬有機(jī)前體物通過艙室時(shí)， 它們會(huì)產(chǎn)生一些副產(chǎn)品，極有可能將其金屬物沉積 到泵表面上。對于這些應(yīng)用，通常使用低溫泵以便確保 長的維修間隔。

氣體減排選擇

每個(gè) CVD 制程都需要某種形式的氣體減排 設(shè)備，以便可以將有毒和危險(xiǎn)的制程副產(chǎn)品安全地 轉(zhuǎn)換為可任意處理的元素。我們對我們的燃料燃燒 廢氣管理設(shè)備倍感驕傲，因?yàn)樗鼈兡軌蛴行У?將副產(chǎn)品強(qiáng)制重組為安全的化合物。有了多入口 燃料燃燒能力，當(dāng)您不需要對制程廢氣進(jìn)行除害處理時(shí)， 您可以通過關(guān)閉主燃燒器來快速部署環(huán)保模式。

集成式系統(tǒng)和生產(chǎn)層解決方案

僅僅有泵和氣體減排設(shè)備，您 仍然不能隨時(shí)運(yùn)轉(zhuǎn)您的制程。您將需要連接泵排氣管道、 連接管道加熱器（如果需要）、鋪設(shè)供水管道、吹掃管道和 電氣線路，然后讓所有控制信號(hào)準(zhǔn)備就緒。您還 必須考慮雙殼體、氣體泄漏檢測以及在進(jìn)行工具維護(hù)后 如何進(jìn)行泄漏檢查。所有這些事宜都將占用您的 設(shè)計(jì)時(shí)間和資金。我們了解問題所在，因此開發(fā)了集成的、 特定于制程的解決方案。

我們的集成式系統(tǒng)已針對大多數(shù)半導(dǎo)體 CVD 制程進(jìn)行預(yù)設(shè)計(jì)。排氣加熱器針對適當(dāng)溫度 進(jìn)行設(shè)置以便大程度地降低成本和延長正常運(yùn)行時(shí)間。我們 在需要的位置安裝泄漏檢查端口和閘閥。我們可以 在裝置內(nèi)安裝有毒氣體傳感器并密封整個(gè)系統(tǒng)，最 重要的是，您只需要提供每種所需的水電設(shè)施。我們 會(huì)根據(jù)需要分配吹掃、水、電和控制信號(hào)并打造隨時(shí)可 投入使用的系統(tǒng)。