因此將廢氣以一般風車抽至大氣排放至大氣環(huán)境而不需處理。酸堿性排氣：其主要來源于化學(xué)清洗工作站，清洗晶片時所產(chǎn)生之揮發(fā)性氣體，此氣體部分含有濃煙，部分則對呼吸系統(tǒng)有刺激性作用有害人體，故必須經(jīng)過水洗中和處理，再由風機排入大氣。

排氣：其主要來源于涂膠、顯影工序和各工序使用清洗過程時所產(chǎn)生，需經(jīng)有機廢氣處理設(shè)備處理后，再由風機排入大氣。

組裝時應(yīng)盡量調(diào)整風道的中心度和水平度，避免風管扭曲或上下起波，左右擺龍，每段風道不宜超過10m.組裝時，墊片應(yīng)墊平，法蘭螺栓應(yīng)均勻擰緊，螺母帽均朝向同一方向。

風管就位：風管就位前應(yīng)檢查全部支架的水乎度和標高、檢查支架的牢固程度，風管就位可采用直接和吊具兩種方法。對風管斷面較小，又位置較低的可采用人工就位方法，只需搭設(shè)簡易腳手架即可。當風管斷面較大且管段較長時，可采用滑輪、倒鏈、大繩等方法吊裝。

1) 送風，包括通氣，如送鮮風和排氣，這個范圍較廣，如工廠車間，生產(chǎn)場地空氣，由于有害氣體產(chǎn)生需要排出室外，又需要把室外空氣輸送至室內(nèi)。這時就要使用流量大而壓力小的空氣輸送管道，螺旋風管就比較適用，一般情況下使用鍍鋅鐵管，有腐蝕性及特別潮濕場所使用不銹鋼管。

(2) 送冷風。常見的是中央空調(diào)的管道，這種管道需要加保溫材料。螺旋風管可內(nèi)貼保溫材料，外表看來美觀。

雙吊桿支架在風道就位后，應(yīng)保證橫擔平直，吊桿不扭轉(zhuǎn)，雙吊桿受力均勻。風管支吊點與風口、風閥和自動控制機構(gòu)之間的距離，應(yīng)不小于200mm。 風道安裝時，進、出風日宜在風道預(yù)制時開出洞口，如需在安裝完畢的風道上現(xiàn)開風口，其接口處應(yīng)嚴密。 風管在安裝時如果要穿過墻面或者樓板，務(wù)必使用防護套管，還需要不燃柔性材料進行封堵，套管厚度不能小于1.6mm,因為套管太薄的話不能夠起到作用。