半導體凈化車間設計的設計范圍

半導體凈化車間設計的設計范圍包括：裝修方案（圍護、地面防水保溫處理），暖通方案（空調(diào)設備、風管、水管等），特氣供應方案（特氣柜含保險控制、房間氣體監(jiān)測、EP級管道及BA管道、供氣管路尾氣處理），壓縮空氣方案，廢氣處理方案（儀器設備POU處理、房間排風廢氣處理），電氣方案（空調(diào)設備動力配電等），弱電工程，集成控制智能平臺，純水方案（冷卻水、去離子水、超純水、水管等），廢水處理。

半導體制造及封裝測試的各個工藝步驟

半導體制造及封裝測試的各個工藝步驟都有大量的廢水產(chǎn)生，主要以酸堿廢水、含氟廢水、有機廢水為主。⑴酸堿廢水：對于酸堿廢水處理前的pH值一般在3-11范圍內(nèi)，時間間歇性強。在排放水體或進行生物處理或化學處理之前，必須進行中和，使廢水pH值達到6.5~8.5。但對于工業(yè)廢水中酸堿物質(zhì)濃度高達3%~5%的廢水，應首先考慮其回收。⑵含氟廢水：含氟廢水的治理技術主要為化學沉淀法，即投加化學藥品形成氟化物沉淀或氟化物被吸附于所形成的沉淀物中而共沉淀，然后分離固體沉淀物即可除去氟化物。

潔凈區(qū)內(nèi)的室內(nèi)裝修應選用氣密性良好

潔凈區(qū)內(nèi)的室內(nèi)裝修應選用氣密性良好，且在溫度和濕度變化的作用下變形小的材料。潔凈室墻壁和頂棚的表面應無裂縫、光潔、平整、不起灰、不落灰塵、耐腐蝕、耐沖擊、易清洗、避免眩光（如采用瓷釉漆涂層墻面和金屬隔熱夾芯板），陰陽角均宜做成圓角，以減少灰塵積聚和便于清洗。潔凈室地面尖整體好，平整、無縫隙、耐磨、耐腐蝕、耐撞擊、不易積靜電、易除塵清洗（如采用環(huán)氧自流平整地坪或現(xiàn)澆水磨石地面）。

潔凈區(qū)內(nèi)各潔凈室的門,考慮到維持室內(nèi)壓力狀況的需要

潔凈區(qū)內(nèi)各潔凈室的門，考慮到維持室內(nèi)壓力狀況的需要，其開設方向要朝向壓力大的房間，因為要靠壓力把門壓緊，這顯然和安全疏散的要求相反。為了考慮平時潔凈和緊急疏散時的兩方面要求，規(guī)定潔凈區(qū)和非潔凈區(qū)之間的門、潔凈區(qū)與室外的門作為安全疏散門對待，其開啟方向一律朝向疏散方向，當然，單設的安全門也是如此。潔凈室的建筑裝飾工程主要是指除主體結構和外門外窗之外的包括地面與樓面裝飾工程。