氦質(zhì)譜檢漏真空系統(tǒng)電氣部分

除了主機供電部件和主機控制部件，還有幾組主要電路：

1）離子源電源。為離子源提供加速、聚焦、拒斥電壓。

2）發(fā)射電流穩(wěn)定電路。穩(wěn)定和調(diào)節(jié)發(fā)射電流。

3）離子流放大器和音響報警器。將離子流進(jìn)行放大并將輸出信號送入輸出儀表或顯示器和音響報警器。

4）真空測量電路。一般用熱偶計測量低真空，用冷陰極磁控入電真空計測量高真室。

5）燈絲保護電路。當(dāng)質(zhì)譜室正常工作壓力被破壞后，立即切斷燈絲供電回路，以保護燈絲。

6）其他電路。不同型號的檢漏儀所具有的功能不盡相同，所以電路也有不少差加，這在各自的說明書中都有說明，這里不同贅述。

氦質(zhì)譜檢漏儀以及氦質(zhì)譜檢漏，在實際應(yīng)用中，氦質(zhì)譜檢漏顧名思義一般都會采用氦氣作為的示漏氣體，這是為什么呢？

氦質(zhì)譜檢漏儀雖然是因為選用氦氣作為示漏氣體而得名，但實際上涉及的示漏氣體包括氦氣、氫氣等，主要的是氦氣。而之所以選擇氦氣作為主要的示漏氣體，原因主要有以下幾點：

1、氦氣的質(zhì)量輕，易于穿過漏孔，進(jìn)入系統(tǒng)時流動和擴散快，因此響應(yīng)快，檢漏靈敏度高。

2、氦離子質(zhì)荷比小，因此可以減小磁分析器偏轉(zhuǎn)半徑的尺寸和選用較弱一點的磁場。同時一階氦離子的質(zhì)荷比與一階氫離子、二階碳離子相差較大，利于離子分離，可以適當(dāng)降低對分析器制造精度的要求，使質(zhì)譜室中氦離子通過的各個縫隙，從而提高氦離子的傳輸率。

3、氦在空氣中及殘余氣體中的含量少，在材料出氣中氦氣也很少，因此本底壓力小，檢漏時本底信號小。

以上這些因素都為提高氦質(zhì)譜檢漏儀器的靈敏度創(chuàng)造了良好條件。另外，氦氣作為一種惰性氣體，性質(zhì)不活潑，不與真空器件起化學(xué)反應(yīng)，無毒，也不會污染環(huán)境，因此使用起來也十分安全。

氦質(zhì)譜儀查漏技術(shù)介紹

氦質(zhì)譜儀查漏法是一-種在線式、易操作，且靈敏度高、抗干擾的監(jiān)測方法。其在各行業(yè)查漏應(yīng)用中，有真空法、正壓法、真空壓力法、背壓法等4種方法。而在各發(fā)電廠的查漏工作中，多采用真空法和正壓法。發(fā)電機及壓力容器、壓力管道等的氣密性檢查多采用正壓法，而汽輪機真空系統(tǒng)查漏則多采用真空法進(jìn)行氨質(zhì)譜檢漏。

該方法使用的氣體噴逐塊、逐區(qū)域地對汽輪機真空系統(tǒng)各設(shè)備、各部位噴射氦氣。如果某處存在泄漏點，作為檢漏示蹤氣體的復(fù)氣將隨同環(huán)境中的空氣被吸人，終從真空泵氣水分離器排放管排出，通過監(jiān)測探頭在抽氣器出口抽吸氦氣及其他不凝性氣體形成的混合氣體，并通過氮質(zhì)譜儀內(nèi)的質(zhì)譜分析功能，分析氮氣分子顆粒在靶板上的物質(zhì)量,判斷被檢位置的泄漏空氣相對量17-81。

在檢漏過程中，根據(jù)氦質(zhì)譜儀顯示屏上示數(shù)變化的情況，判斷被檢位置是否泄漏，及泄漏的程度。

氦質(zhì)譜檢漏儀開機步驟

1、將總電源轉(zhuǎn)到“前級泵”，低真空表頭指示值應(yīng)從左向右逐漸上升至2~15Pa，開抽速閥，開漏孔開關(guān)，表頭示值也應(yīng)能抽到原來位置，再關(guān)抽速閥。

2、將總電源轉(zhuǎn)到“擴散泵”，燈亮，擴散泵開始加熱。

3、等20分鐘左右，擴散泵排氣管應(yīng)熱，開冷規(guī)開關(guān)，“質(zhì)譜室壓強”表頭指針應(yīng)從左打向右(即冷規(guī)已激發(fā))再關(guān)冷規(guī)。

4、開抽速閥，過幾分鐘后開冷規(guī)，表頭指針應(yīng)從左打向右，再從右向左逐漸上升(真空示值在1×10-2Pa以下請不要長時間開冷規(guī)，可等一會兒再開)，當(dāng)真空示值超過1×10-2Pa后，可啟動燈絲，燈亮，“發(fā)射電流”有指示，開、關(guān)漏孔檢查氦質(zhì)譜檢漏儀靈敏度(可調(diào)加速電壓使信號指示Zda)，靈敏度達(dá)要求后關(guān)漏孔。

5、將工件用外接泵抽上真空后，開節(jié)流閥至冷規(guī)指示值為5×10-3~1×10-2Pa之間，對工件噴氦檢漏。檢漏完，關(guān)節(jié)流閥。