真空系統(tǒng)一般包括：

1）主泵。一般用擴(kuò)散泵或渦輪分子泵。極限壓力小于5×10-1Pa，其抽速應(yīng)與氣載匹配。

2）前級真空泵。一般采用旋片式機(jī)械真空泵，在以分子示為主泵的系統(tǒng)中，也有采用薄膜泵或干泵的。極限壓力小于1×10-1Pa，抽速與主泵匹配。

3）預(yù)抽真空泵。一般與前級真空泵共同一個(gè)泵，也有預(yù)抽真空泵的。預(yù)抽真空泵一般采用旋片式機(jī)械真空泵，其抽速視被檢件大小而定，因此預(yù)抽真空泵大都由用戶自配。

4）冷阱。分子泵型真空系統(tǒng)一般不加冷阱。擴(kuò)散泵型真空系統(tǒng)的冷阱加在質(zhì)譜室、檢漏口與擴(kuò)散泵之間，使三者被冷阱隔離，如圖5所示。冷阱加入液氮后便可阻止擴(kuò)散泵的油蒸氣和被檢件來的水蒸氣進(jìn)入質(zhì)譜室，保持質(zhì)譜室的清潔，并幫助擴(kuò)散泵迅速獲得較高真空。

5）檢漏閥。按在質(zhì)譜室和被檢件之間的管道上。有些儀器采用節(jié)流閥，控制流入質(zhì)譜室的氣體流量。

6）真空規(guī)。一般采用冷陰極磁控放電真室規(guī)來測量質(zhì)譜室中的壓力。也有用電阻規(guī)或熱偶規(guī)測量被檢件的預(yù)抽壓力和系統(tǒng)的前級壓力的。

7）標(biāo)準(zhǔn)漏孔。一般儀器內(nèi)都附有標(biāo)準(zhǔn)漏孔（大多為薄膜滲氦型），用它來校準(zhǔn)儀器的小可檢漏率和對儀器輸出指示進(jìn)行定標(biāo)。

檢漏儀使用中注意事項(xiàng)

檢漏儀在使用過程中需特別注意以下幾點(diǎn)：

①使用的電源電壓要在額定的電壓范圍之內(nèi)，電壓過低儀器啟動困難，且性能不穩(wěn)定，電壓過高會燒壞電源，嚴(yán)重時(shí)還會燒毀母板的電路板和分子泵，應(yīng)連接穩(wěn)壓電源(UPS)。

②儀器在運(yùn)行過程中不能移動。渦輪分子泵處于高速運(yùn)轉(zhuǎn)中，若搬動檢漏儀，容易使分子泵內(nèi)的葉片與轉(zhuǎn)子的筒體相碰撞。

③檢漏儀應(yīng)按照說明書的要求定期進(jìn)行保養(yǎng)，保養(yǎng)的項(xiàng)目有更換機(jī)械泵油、更換過濾網(wǎng)、更換過濾器。

氦質(zhì)譜檢漏儀的工作原理

氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜分析原理，以氦為示蹤氣體，對真空設(shè)備和密封器件的漏隙進(jìn)行定位或定量、定性測量的完整系統(tǒng)。

我們知道氣體在電子的轟擊下會產(chǎn)生帶電粒子，帶電粒子在電場的作用下獲得能量做加速動力，而在磁場的作用下將做圓周運(yùn)動，而具有不同質(zhì)荷比的離子其運(yùn)動半徑不同。這就使一束帶電粒子在磁場的作用下按荷質(zhì)比分離，這門研究使不同質(zhì)量的粒子在電磁場中運(yùn)動并依質(zhì)荷比進(jìn)行分離的學(xué)科稱為質(zhì)譜學(xué)。根據(jù)質(zhì)譜學(xué)原理制成的儀器叫質(zhì)譜儀。氦質(zhì)譜檢漏儀是質(zhì)譜儀器中的一種，將質(zhì)譜儀用于檢漏技術(shù)是質(zhì)譜儀在真空密封檢測技術(shù)中的重要應(yīng)用。

檢漏的基本任務(wù)靠采取一些標(biāo)準(zhǔn)檢漏技術(shù)來完成，而采用哪種技術(shù)要根據(jù)被檢件的結(jié)構(gòu)、檢漏的經(jīng)濟(jì)效益及檢漏系統(tǒng)的性質(zhì)來決定。

氦質(zhì)譜儀查漏技術(shù)介紹

氦質(zhì)譜儀查漏法是一-種在線式、易操作，且靈敏度高、抗干擾的監(jiān)測方法。其在各行業(yè)查漏應(yīng)用中，有真空法、正壓法、真空壓力法、背壓法等4種方法。而在各發(fā)電廠的查漏工作中，多采用真空法和正壓法。發(fā)電機(jī)及壓力容器、壓力管道等的氣密性檢查多采用正壓法，而汽輪機(jī)真空系統(tǒng)查漏則多采用真空法進(jìn)行氨質(zhì)譜檢漏。

該方法使用的氣體噴逐塊、逐區(qū)域地對汽輪機(jī)真空系統(tǒng)各設(shè)備、各部位噴射氦氣。如果某處存在泄漏點(diǎn)，作為檢漏示蹤氣體的復(fù)氣將隨同環(huán)境中的空氣被吸人，終從真空泵氣水分離器排放管排出，通過監(jiān)測探頭在抽氣器出口抽吸氦氣及其他不凝性氣體形成的混合氣體，并通過氮質(zhì)譜儀內(nèi)的質(zhì)譜分析功能，分析氮?dú)夥肿宇w粒在靶板上的物質(zhì)量,判斷被檢位置的泄漏空氣相對量17-81。

在檢漏過程中，根據(jù)氦質(zhì)譜儀顯示屏上示數(shù)變化的情況，判斷被檢位置是否泄漏，及泄漏的程度。