氦質(zhì)譜檢漏儀的結(jié)構(gòu)

收集極

收集極是對(duì)準(zhǔn)出口電極狹縫安裝的，其作用是收集穿過出口電極狹縫的氦離子并通過一個(gè)電阻輸入到小電流放大器進(jìn)行離子流的放大和測(cè)量。由于氦離子一般只有10-13~10-12A，要使小電流放大器一極輸入信號(hào)電壓足夠大，則輸入電阻必需很大（一般高于1010歐），一級(jí)放大用的靜電計(jì)管必須要高度絕緣，所以把高阻及靜電計(jì)管放在高真空的質(zhì)譜室中。

真空系統(tǒng)

儀器的真空系統(tǒng)提供質(zhì)譜正常工作所需要的真空條件，不同型號(hào)的檢漏儀其真空系統(tǒng)有較大的差別。圖5為常見的普通型氦質(zhì)譜檢漏儀真空系統(tǒng)。

檢漏儀使用中注意事項(xiàng)

檢漏儀在使用過程中需特別注意以下幾點(diǎn)：

①使用的電源電壓要在額定的電壓范圍之內(nèi)，電壓過低儀器啟動(dòng)困難，且性能不穩(wěn)定，電壓過高會(huì)燒壞電源，嚴(yán)重時(shí)還會(huì)燒毀母板的電路板和分子泵，應(yīng)連接穩(wěn)壓電源(UPS)。

②儀器在運(yùn)行過程中不能移動(dòng)。渦輪分子泵處于高速運(yùn)轉(zhuǎn)中，若搬動(dòng)檢漏儀，容易使分子泵內(nèi)的葉片與轉(zhuǎn)子的筒體相碰撞。

③檢漏儀應(yīng)按照說明書的要求定期進(jìn)行保養(yǎng)，保養(yǎng)的項(xiàng)目有更換機(jī)械泵油、更換過濾網(wǎng)、更換過濾器。

氦質(zhì)譜檢漏儀鍍膜機(jī)檢漏

目前市場(chǎng)上常見的金黃色、鈷銅色、黑色等鉆頭、銑、模具等，這些器具都是經(jīng)過鍍膜技術(shù)加工后的涂層工具。經(jīng)過涂層處理后的硬質(zhì)合金刀片可以延具壽命并且滿足一些特殊的應(yīng)用，刀具上的顏色不同也就說明涂鍍不同的涂層。

鍍膜機(jī)檢漏原因：鍍膜機(jī)需要在高真空環(huán)境下工作，真空度的好壞直接影響鍍膜的品質(zhì)。有時(shí)候鍍膜機(jī)的真空度抽不下來或者真空度不好，可能是接頭松動(dòng)或者有焊縫出現(xiàn)虛焊。傳統(tǒng)的檢漏方法需要鍍膜機(jī)停機(jī)，充氮?dú)猓僭趹岩捎新┑牡胤酵可戏试砼?，整個(gè)過程耗時(shí)費(fèi)力容易誤判，對(duì)于細(xì)微的泄漏無法檢測(cè)。

鍍膜機(jī)檢漏方法：采用真空法檢漏，鍍膜機(jī)不需要停機(jī)，直接在真空泵的旁路利用波紋管接入檢漏儀，在懷疑有漏的地方噴氦氣，即可完成檢漏。

氦質(zhì)譜檢漏儀調(diào)氦峰步驟

調(diào)氦峰在更換燈絲后及每天開始檢漏前檢查氦質(zhì)譜檢漏儀靈敏度達(dá)不到要求時(shí)進(jìn)行。

1、調(diào)氦峰方法：

開漏孔開關(guān)，單方向(從75~165V或從165~75V)調(diào)加速電壓“V”，使氦質(zhì)譜檢漏儀放大器輸出表指示值出現(xiàn)一個(gè)Zda值，然后關(guān)漏孔開關(guān)，如表頭指示值變小，說明氦質(zhì)譜檢漏儀接收到氦信號(hào)，即找到氦峰;如表頭指示值不變，說明不是氦峰，則繼續(xù)調(diào)“V”，直到找到氦峰(出現(xiàn)氦的“V”一般在85~150V之間)。

2、調(diào)氦峰分辨不好：

①氦和重離子分辨差。

②氦和輕離子分辨差。

3、調(diào)氦峰信號(hào)?。?

①燈絲沒正對(duì)電離盒上的電子入口。

②燈絲離電離盒太遠(yuǎn)。

③分辨不好。

④燈絲質(zhì)量差(受油蒸汽污染或本身發(fā)射能力低)。