雙工位氦檢漏系統(tǒng)構(gòu)成

（1）粗抽機(jī)組：一般采用旋片泵或者滑閥泵作為粗抽真空使用，獲得從一個(gè)大氣壓到千帕級(jí)真空，并為后續(xù)精抽真空作準(zhǔn)備。

（2）精抽機(jī)組：一般采用羅茨泵作為精抽真空使用，獲得檢漏要求的真空，一般為5Pa左右。

（3）檢漏儀：是檢漏系統(tǒng)中的部件，檢漏儀執(zhí)行檢漏工作時(shí)，給出工件泄露量大小，并判斷工件是否合格，輸出控制信號(hào)。

（4）耐壓測(cè)試單元：通過(guò)向工件內(nèi)充注高壓氣體，一方面測(cè)試工件的耐壓性能。另一方面通過(guò)平衡、保壓過(guò)程，有傳感器感測(cè)壓力差，并由控制系統(tǒng)經(jīng)過(guò)計(jì)算分析判斷是否有大漏。

（5）工件抽空單元：為保證氦氣有循環(huán)過(guò)程中氦氣的純度，在向工件充注氦氣之前，抽出工件內(nèi)的空氣。

使用注意事項(xiàng)

1）一些用戶在使用氦檢漏系統(tǒng)時(shí)希望每個(gè)箱體一次檢測(cè)多個(gè)工件，以提高檢測(cè)效率。這樣做會(huì)有潛在的風(fēng)險(xiǎn)。一是可能存在累積效應(yīng)，即多個(gè)工件累積漏率可能超過(guò)報(bào)警點(diǎn)，而實(shí)際單個(gè)工件在許可范圍內(nèi)合格。二是一旦不合格需要單個(gè)重檢，要耗費(fèi)公司。每個(gè)箱體一次檢測(cè)多個(gè)工件的基礎(chǔ)在于工件的合格率在90%以上，而且工件品質(zhì)較好。

2）由于氦檢漏系統(tǒng)屬于一種精密檢測(cè)儀器，對(duì)使用環(huán)境要求相對(duì)苛刻。一是要求工件清潔干燥。二是要求環(huán)境溫度不能過(guò)高、濕度也不能過(guò)大。

3）為保證系統(tǒng)使用壽命和穩(wěn)定運(yùn)行，系統(tǒng)需要定期維護(hù)。比如更換泵油、清潔管道、更換配件等。條件不具備時(shí)，須請(qǐng)廠家技術(shù)人員作定期保養(yǎng)。

結(jié)語(yǔ)

綜上所述，氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)作為一種新型的檢漏技術(shù)，精度高、、清潔環(huán)保。

如何判斷真空系統(tǒng)是否存在真實(shí)的泄漏

壓降曲線分析

真空系統(tǒng)的歷史數(shù)據(jù)是了解大型真空系統(tǒng)性能的有價(jià)值的工具之一，經(jīng)驗(yàn)豐富的技術(shù)人員會(huì)精心地保留歷史數(shù)據(jù)，通過(guò)將當(dāng)前的壓降曲線與系統(tǒng)處于良好狀態(tài)時(shí)的上一個(gè)循環(huán)進(jìn)行比較就可以快速的判斷問(wèn)題原因。比如，通過(guò)下圖所示的壓降曲線，就可以判斷是否存在泄漏。

工藝條件不變并且真空泵運(yùn)行正常的情況下，如果存在真實(shí)的泄漏，從外部漏入腔室的氣體將導(dǎo)致腔體的壓力下降到比正常極限壓力偏高的位置時(shí)便不再下降或下降極慢，壓降曲線類似于上圖上方曲線。存在放氣或虛漏時(shí)，氣體緩慢釋放并且放氣率越來(lái)越小，系統(tǒng)能達(dá)到原來(lái)的極限壓力但是達(dá)到極限壓力的時(shí)間明顯變慢，壓降曲線與上圖中間那條曲線類似。

真空高低的原理分析及試驗(yàn)斷定

對(duì)于汽輪機(jī)來(lái)說(shuō)，真空的高低對(duì)汽輪機(jī)運(yùn)行的經(jīng)濟(jì)性有著直接的關(guān)系，真空高，排汽壓力低，有效焓降較大，被循環(huán)水帶走的熱量越少，機(jī)組的效率越高，當(dāng)凝汽器內(nèi)漏入空氣后，降低了真空，有效焓降減少，循環(huán)水帶走的熱量增多。通過(guò)凝汽器的真空嚴(yán)密性試驗(yàn)結(jié)果，可以鑒定凝汽器的工作好壞，以便采取對(duì)策消除泄漏點(diǎn)。

因真空系統(tǒng)的漏空氣量與負(fù)荷有關(guān)，負(fù)荷不同，處于真空狀態(tài)的設(shè)備、系統(tǒng)范圍不同，凝汽器內(nèi)真空也不同，漏空氣量也不同，而且相同的空氣漏量，在負(fù)荷不同時(shí)真空下降的速度也不一樣。為此，法規(guī)規(guī)定，做真空嚴(yán)密性試驗(yàn)時(shí)，負(fù)荷應(yīng)在80%額定負(fù)荷（有的機(jī)組是在額定負(fù)荷）下進(jìn)行。真空下降速度小于0.4kpa/min為合格，超過(guò)時(shí)應(yīng)查找原因。另外，在試驗(yàn)時(shí)，當(dāng)真空低于87kpa，排汽溫度高于60℃時(shí)，應(yīng)立即停止試驗(yàn)，恢復(fù)原運(yùn)行工況。