真空泵機(jī)組渦旋泵已被廣泛應(yīng)用于諸多領(lǐng)域:①半導(dǎo)體行業(yè):薄膜制造設(shè)備、半導(dǎo)體器件封裝設(shè)備;②科學(xué)儀器行業(yè):同步輻射光束線機(jī)、電子顯微鏡、真空泵機(jī)組極光試驗(yàn)設(shè)備、分析測(cè)試儀器;③機(jī)械設(shè)備行業(yè):材料制備設(shè)備、真空檢測(cè)設(shè)備、真空過(guò)濾設(shè)備、材料提純?cè)O(shè)備、超高真空排氣設(shè)備;④行業(yè):儀器、透析機(jī);生物制品行業(yè):材料提純與藥品制備;⑤包裝行業(yè):食品、藥品、生物制品等包裝設(shè)備;⑥真空冶金行業(yè):真空爐、納米材料制備設(shè)備、真空檢測(cè)設(shè)備等領(lǐng)域。渦旋泵作為分子泵和小型低溫泵的前級(jí)泵是獲得無(wú)油真空系統(tǒng)的佳配置。它的主要運(yùn)動(dòng)件只有一個(gè)動(dòng)渦旋盤，因而動(dòng)力傳遞簡(jiǎn)單，相同尺寸下運(yùn)動(dòng)半徑小、零部件少、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單緊湊、整機(jī)尺寸小，動(dòng)、靜渦旋盤之間、動(dòng)盤與泵腔之間間隙小，泵內(nèi)運(yùn)動(dòng)件與泵腔無(wú)摩擦，所以幾乎無(wú)磨損，運(yùn)行平穩(wěn)，消耗功率小，氣體流動(dòng)損失小，工作可靠性高、壽命長(zhǎng)，易于維修，維修費(fèi)用低，容積。采用空氣冷卻，無(wú)需水冷。

　    真空泵的維修的基本知識(shí)點(diǎn)?隨著真空應(yīng)用的發(fā)展，真空泵的種類已發(fā)展了很多種，其抽速?gòu)拿棵肓泓c(diǎn)幾升到每秒幾十萬(wàn)、數(shù)百萬(wàn)升。隨著真空技術(shù)在生產(chǎn)和科學(xué)研究領(lǐng)域中對(duì)其應(yīng)用壓強(qiáng)范圍的要求越來(lái)越寬，大多需要由幾種真空泵組成真空抽氣系統(tǒng)共同抽氣后才能滿足生產(chǎn)和科學(xué)研究過(guò)程的要求，由于真空應(yīng)用部門所涉及的工作壓力的范圍很寬，因此任何一種類型的真空泵都不可能完全適用于所有的工作壓力范圍，只能根據(jù)不同的工作壓力范圍和不同的工作要求，使用不同類型的真空泵。

       旋片真空泵在使用一段時(shí)間后就可能會(huì)出現(xiàn)一些故障問(wèn)題，比較常見的就是真空度下降、密封處漏油、真空泵轉(zhuǎn)動(dòng)停滯等情況，甚至還可能出現(xiàn)“卡死”、生銹和大的撞擊聲、真空泵腔內(nèi)落入硬物劃傷真空泵腔、造成真空泵過(guò)熱等異常現(xiàn)象，這時(shí)候一定要對(duì)真空泵進(jìn)行拆洗。

首先要改變軸的原材料。泵軸的制作物質(zhì)是45#鋼，調(diào)質(zhì)處理后的布氏硬度HB是241-303。經(jīng)驗(yàn)表明，它的硬度符合調(diào)制處理后的45#鋼硬度。1Cr18Ni9Ti是好的材料，這是轉(zhuǎn)軸的工作環(huán)境決定的，因?yàn)檫@種材料耐磨性好、抗性強(qiáng)，有利于偏心載荷，達(dá)到轉(zhuǎn)軸和軸孔的良好的配合效果。如果增加軸徑后再對(duì)泵體、軸承等進(jìn)行修改，能夠滿足設(shè)計(jì)要求，所以再次設(shè)計(jì)、改良真空泵是非常必要的。

       愛德華真空泵維修之真空泵油的選擇，盡量用同一類真空泵油或功能附近、添加劑類型類似的泵油代用。粘度要相當(dāng)，代用的真空泵油的粘度以不超越原用油粘度±25%為宜。一般狀況，應(yīng)優(yōu)先思索粘度稍大的泵油中止代用。質(zhì)量以高代低，即選用質(zhì)量高一檔的真空泵油代用，這樣對(duì)設(shè)備潤(rùn)滑比擬牢靠。同時(shí)，還可延伸運(yùn)用期，經(jīng)濟(jì)上也合算。

       正確挑選真空泵油，選用代用泵油時(shí)還應(yīng)留心思索設(shè)備的環(huán)境與運(yùn)作溫度。對(duì)運(yùn)作溫度變化大的機(jī)械設(shè)備，代用油的粘溫性要好一些；關(guān)于低溫運(yùn)作的機(jī)械，挑選代用油的凝點(diǎn)要低于運(yùn)作溫度 10 ℃以下，而關(guān)于高溫運(yùn)作的機(jī)械，則要思索代用油的閃點(diǎn)要高一些，氧化安定性也要滿意運(yùn)用。