氦質(zhì)譜檢漏儀的結(jié)構(gòu)

氦質(zhì)譜檢漏儀分析器的作用是使不同質(zhì)荷比的離子按不同軌跡運(yùn)動(dòng)從而將它們彼此分開，僅使氦離子通過其出口隙縫。分析器由一個(gè)外加均勻磁場(chǎng)及一個(gè)出口電極組成。

氦質(zhì)譜檢漏儀分析器的出口電極一般采用三柵結(jié)構(gòu)。在離子收集極前面有三個(gè)柵極G1、G2、G3。G1和G3接地，中間柵極G2與離化室相連。G1柵的狹縫決定了氦離子的運(yùn)動(dòng)半徑，而使除氦以外的其他離子打不到收集極上去。中間柵極G2的正電位對(duì)于正離子而言相當(dāng)于一個(gè)拒斥電場(chǎng)，只有具有一定能量的氦離子才能通過G2的狹縫，而由于碰撞失去能量的其他雜散離子即使進(jìn)入G1狹縫，也不能通過G2狹縫到達(dá)收集極，使收集極的氦離子流不受這些雜散離子的干擾。柵極G3是抑制離子在收集極上打出的二次電子不跑向G2，使它仍返回收集極，以防離子流的不穩(wěn)定。

氦質(zhì)譜檢漏儀的電氣部分。氦質(zhì)譜檢漏儀除了主機(jī)供電部件和主機(jī)控制部件外，還有幾組主要電路：

1、離子源電源。為離子源提供加速、聚集、拒斥電壓。

2、發(fā)射電流穩(wěn)定電路。穩(wěn)定和調(diào)節(jié)發(fā)射電流。

3、離子流放大器和單響報(bào)警器。將離子流進(jìn)行放大并將輸出信號(hào)送入輸出儀表或顯示器和音響報(bào)警器。

4、真空測(cè)量電路。一般用熱偶計(jì)測(cè)量低真空，用冷陰極磁控放電真空計(jì)測(cè)量高真空。

5、燈絲保護(hù)電路。當(dāng)質(zhì)譜室正常工作壓力被破壞后，立即切斷燈絲供電回路，以保護(hù)燈絲。

6、其他電路。不同型號(hào)的氦質(zhì)譜檢漏儀所具有的功能不盡相同，所以電路也有不少差別，這在各自的說明書中都有說明。

氦質(zhì)譜檢漏儀工作原理

氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜學(xué)原理制成的磁偏轉(zhuǎn)型的質(zhì)譜分析計(jì)，用氦氣作為示漏檢測(cè)氣體制成的氣密性質(zhì)譜檢漏儀器。其結(jié)構(gòu)主要由進(jìn)樣系統(tǒng)、離子源、質(zhì)量分析器、收集放大器、冷陰極電離真空計(jì)等組成。離子源是氣體電離，形成一束具有特定能量的離子。質(zhì)量分析器是一個(gè)均勻的磁場(chǎng)空間，不同離子的質(zhì)荷比不同，在磁場(chǎng)中就會(huì)按照不同軌道半徑運(yùn)動(dòng)而進(jìn)行分離，在設(shè)計(jì)時(shí)只讓氦離子飛出分析器的縫隙，打在收集器上。收集放大器收集氦離子流并送人到電流放大器，通過測(cè)量離子流就可知漏率。冷陰極電離真空計(jì)指示質(zhì)譜室的壓力及用作保護(hù)裝置。