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公司產(chǎn)品包括石英掩膜版,蘇打掩膜版,以及菲林版。蘇州制版根據(jù)客戶的構想、草圖,定制版圖,蘇州制版提供高質量掩膜版以及后期的代加工服務!
在刻畫時,采用步進機刻畫(stepper),其中有電子束和激光之分,激光束直接在涂有鉻層的4-9“ 玻璃板上刻畫,邊緣起點5mm,與電子束相比,其弧形更逼真,線寬與間距更小。③烤版溫度不能過高,溫度過高也會導致鋁版基韌化和發(fā)軟,樹脂層焦化,影響耐印力。光掩膜有掩膜原版(reticle mask,也有稱為中間掩膜,reticle作為單位譯為光柵),用步進機重復將比例縮小到master maks上,應用到實際曝光中的為工作掩膜(working mask),工作掩膜由master mask復i制過來。
光罩(英文:Reticle, Mask),在制作IC的過程中,利用光蝕刻技術,在半導體上形成圖型,為將圖型於晶圓上,必須透過光罩作用的原理,類似于沖洗照片時,利用底片將影像至相片上。
業(yè)內又稱光掩模版、掩膜版,英文名稱 MASK 或 PHOTOMASK),材質:石英玻璃、金屬鉻和感光膠,該產(chǎn)品是由石英玻璃作為襯底,在其上面鍍上一層金屬鉻和感光膠,成為一種感光材料,把已設計好的電路圖形通過電子激光設備曝光在感光膠上,被曝光的區(qū)域會被顯影出來,在金屬鉻上形成電路圖形,成為類似曝光后的底片的光掩模版,然后應用于對集成電路進行投影定位,通過集成電路光刻機對所投影的電路進行光蝕刻,其生產(chǎn)加工工序為:曝光,顯影,去感光膠,后應用于光蝕刻。光掩膜有掩膜原版(reticlemask,也有稱為中間掩膜,reticle作為單位譯為光柵),用步進機重復將比例縮小到mastermaks上,應用到實際曝光中的為工作掩膜(workingmask),工作掩膜由mastermask復i制過來。
光呆板業(yè)界別稱光掩模板、掩膜版,光罩,英文名字MASK或PHOTOMASK),材料:石英玻璃、金屬鉻和光感應膠,該商品是由石英玻璃或是碳酸鈉夾層玻璃做為襯底,在其上邊鍍上一層層金屬鉻和光感應膠。光刻工藝是半導體器件制造工藝中的一個重要步驟,利用曝光和顯影在光刻膠層上刻畫器件結構,再通過刻蝕工藝將掩膜上的圖形轉換到襯底上。在塑料薄膜、塑膠或夾層玻璃化學反應原材料上制做各種各樣作用圖型并精i明確位,便于用以光致抗蝕劑鍍層可選擇性曝i光的這種構造,稱之為光刻掩模板。