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結構特點

復合式分子泵是渦輪分子泵與牽引分子泵的串聯(lián)組合，集兩種泵的優(yōu)點于一體。泵在很寬的壓力范圍內 ((10-6 ～ 1Pa) 具有較大的抽速和較高的壓縮比，大大提高了泵的出口壓力。法國 Alcatle 公司生產(chǎn)的一種采用氣體靜承和動密封的復合分子泵，可以做到完全無油，且不用前級泵直接向大氣中排氣。

分類

復合式分子泵的形式很多，按結構分，主要有兩種：一種是渦輪葉片與盤式牽引泵的串聯(lián)組合；另一種是渦輪葉片與筒式牽引泵的串聯(lián)組合。渦輪級主要用來提高泵的抽速，一般采用有利于提高抽速的葉片形狀，級數(shù)在 l0 級以內。牽引級主要用來增加泵的壓縮比，提高泵的出口壓力。

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工作原理

旋片式真空泵多為中小型真空泵。旋片式真空泵有單級旋片真空泵和雙級真空泵兩種。所謂雙級旋片式真空泵，就是在結構上將兩個單級泵串聯(lián)起來。一般多做成雙級的，以獲得較高的真空度。

旋片式真空泵的抽速與入口壓強的關系規(guī)定如下：在入口壓強為1333Pa、1.33Pa 和 1.33×10-1(Pa)下，其抽速值分別不得低于泵的名義抽速的95%、50%和 20%。

圖二是雙級泵工作原理圖，它由兩個單級泵串聯(lián)組成。工作時，被抽氣體首先經(jīng)吸氣筒進入高真空級。 當吸入氣體壓強較高時，一部分氣體由排氣閥2排出，另一部分氣體經(jīng)低真空級，由排氣閥1排出。 當吸入氣體壓強較低時，雖經(jīng)高真空級壓縮，但排氣閥2仍不能打開排氣，只能經(jīng)低真空極繼續(xù)壓縮，由排氣閥1排出，因雙級泵的極限真空比單級泵高。

一般的泵(水泵、小油泵)可以用平尺或塞尺進行粗測，但是對大多數(shù)設備都需要精測，用百分表進行測量。一般機泵的水平度已找好，以機泵的對輪為基準，測定與調整電機對輪，來保證電機與機泵兩軸對中。

注：a1、a2、a3、a4表示徑向間隙，S1、S2、S3、S4表示軸向間隙測量時先測出百分表在0o時的徑向間隙a1和軸向間隙S1，然后分別測出90o、180o、270o的徑向與軸向間隙，并分別記錄于上圖所示的圓內與圓外。測量回到0o時，必須與原始讀數(shù)一致，否則要查找原因，一般由軸竄動或地腳螺栓松動所致。后測量數(shù)據(jù)還須符合以下條件，才表示計算正確。

8、動手拆泵以前，應事先了解清楚待拆修泵的結構特點、各零部件大致屬哪種結構型式。例如，對那些本身屬于組合件的部件，如某些旋片泵的轉子等，則不要拆卸，可對其表面作適當?shù)男拚{整;如果組合轉子內落入玻璃屑、金屬異物傷了腔體或本身旋片槽已磨損過多，需修換配件時，則可拆卸，但要小心記住其裝配方法。