無(wú)塵潔凈室的氣流速度/換氣次數(shù)，一直是潔凈室設(shè)計(jì)中受到關(guān)注的問(wèn)題，隨著潔凈室污染源的控制效果增加及末級(jí)過(guò)濾器效率的提高等，對(duì)有關(guān)規(guī)范、導(dǎo)則等提 出的推薦或參考值是否偏于保守，已有不少討論;FFU在應(yīng)用中人們擔(dān)心的噪音、損壞維修等問(wèn)題已在實(shí)踐中得到解決，隨著FFU的不斷改進(jìn)，對(duì)是否采用 FFU回風(fēng)系統(tǒng)也是個(gè)熱點(diǎn)：懸浮分子污染(AMC)的控制在微電子及IC工業(yè)中已日益提到日程上來(lái)，受到關(guān)注。

潔凈無(wú)塵車間通常都需頻繁擦拭，除了用水擦拭還會(huì)用消毒水、酒精、其它溶劑等擦拭，這些液體通常都有一定的化學(xué)品性，會(huì)使一些材料表面變色、脫落，這就要求裝修材料表面有一定的耐化學(xué)品性。潔凈無(wú)塵車間裝修的生物車間如手術(shù)室為了殺菌的需要，通常會(huì)安裝三氧O3發(fā)生器。防止施工缺陷：地面要求不空鼓、無(wú)裂縫、不起砂、無(wú)油漆、膠水、放1火涂料等附著物，無(wú)柴油、煤油、機(jī)油等油類浸透的油漬、無(wú)積水及化學(xué)物質(zhì)浸損地面的現(xiàn)象。O3（即臭氧）是一種強(qiáng)氧化氣體，會(huì)加速環(huán)境中物體特別是金屬的氧化銹蝕，也會(huì)使一般涂層表面由于氧化而褪色，變色。所以此類無(wú)塵車間要求其裝修材料有很好的耐氧化性，不會(huì)產(chǎn)生銹蝕。

無(wú)塵車間清潔要求

   (1)、清潔潔凈室內(nèi)的墻時(shí)應(yīng)使用潔凈室無(wú)塵布;

   (2)、用90%去離子水和10%的異丙1醇配置清潔劑;

   (3)、使用已獲批準(zhǔn)的潔凈室去污劑;

   (4)、每天都要檢查車間和整備間的垃圾箱，并及時(shí)清走。

   (5)、每塊地板都要吸塵。每次交接班時(shí)，都應(yīng)在地圖上標(biāo)明工作完成情況，例如在哪結(jié)束從哪開(kāi)始。

   (6)、清潔潔凈室的地面應(yīng)使用拖把。

   (7)、在潔凈室里吸塵應(yīng)使用帶有過(guò)濾器的真空吸塵器。

   (8)、所有的門都需要檢查并擦干

   (9)、吸完地以后再擦地。一周擦一次墻面。

   (10)、架空地板下也要吸塵及擦拭。

   (11)、更換好防靜電服，戴好、口罩，經(jīng)風(fēng)浴吸塵通道除塵后，進(jìn)入潔凈室。

   (12)、準(zhǔn)備好清潔工具及用品并放置在規(guī)定地點(diǎn)后，開(kāi)始清潔工作。

   (13)、撿拾地面垃圾，按生產(chǎn)線排列次序由里向外逐一進(jìn)行。

工廠無(wú)塵車間裝修中1重要的建設(shè)環(huán)節(jié)是空調(diào)排風(fēng)，但對(duì)于無(wú)塵車間的裝修配電同樣需要予以重視。工廠潔凈車間建設(shè)的裝修配電主要包含動(dòng)力饋給、電纜管道、電纜、插頭、插座開(kāi)關(guān)等。十萬(wàn)級(jí)無(wú)塵車間的清潔程序：1、人員意識(shí)培訓(xùn)針對(duì)無(wú)塵室內(nèi)的清潔人員，先期進(jìn)行無(wú)塵室對(duì)產(chǎn)品生產(chǎn)重要性的培訓(xùn)，貫輸清潔對(duì)無(wú)塵室的重要度。一、動(dòng)力饋給工廠無(wú)塵車間裝修應(yīng)盡量避免在地板上安置電器部件，因?yàn)楣S無(wú)塵車間裝修通常用水管沖洗，在清洗過(guò)程中地板將承受強(qiáng)烈的沖擊。對(duì)于工廠無(wú)車車間而言，機(jī)器電源引線安置的1佳位置是墻壁，為縮短電源線的長(zhǎng)度，機(jī)器應(yīng)盡可能靠墻。如果機(jī)器永1久靠墻，動(dòng)力可以通過(guò)隱蔽于機(jī)器背面墻壁上的電線供給；如果機(jī)器不靠墻，可將其固定于地板上（地板上有一護(hù)罩以防止清洗用水和化學(xué)品侵蝕機(jī)器底下的電線），電源線直接穿過(guò)機(jī)器底下的地板來(lái)提供動(dòng)力。如果在工廠無(wú)塵車間的毗鄰有對(duì)潔凈等級(jí)無(wú)要求的場(chǎng)所，如輔助走廊等，就不必將導(dǎo)線穿在無(wú)塵車間的墻壁上，而可以通過(guò)該場(chǎng)所，使導(dǎo)線在電器部件的安裝位置直接進(jìn)入工廠無(wú)塵車間，這樣就可以降低建筑費(fèi)用又便于將來(lái)更換路線?；谙嗤?，電線的接線盒或拉線盒應(yīng)安裝在工廠無(wú)塵車間毗鄰的對(duì)潔凈等級(jí)無(wú)要求的區(qū)域。進(jìn)入無(wú)塵車間的導(dǎo)線，在其進(jìn)入點(diǎn)的前端部應(yīng)加裝密封裝置，施工中，導(dǎo)線拉入無(wú)塵車間裝修后，密封劑即填密封件。這樣能防止室外空氣通過(guò)電器部件的電線導(dǎo)管進(jìn)入工廠無(wú)塵車間，以確保室內(nèi)空氣質(zhì)量。