電池片的制作工藝

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影響因素

1. 溫度

溫度過高，首先就是 IPA不好控制，溫度一高， IPA 的揮發(fā)很快，氣泡印就會隨之出現(xiàn)，這樣就大大減少了 PN 結(jié)的有效面積，反應(yīng)加劇 , 還會出現(xiàn)片子的漂浮，造成碎片率的增加。

可控程度：調(diào)節(jié)機器的設(shè)置，可以很好的調(diào)節(jié)溫度。

2. 時間

金字塔隨時間的變化：金字塔逐漸冒出來；表面上基本被小金字塔覆蓋，少數(shù)開始成長；金字塔密布的絨面已經(jīng)形成，只是大小不均勻，反射率也降到比較低的情況；金字塔向外擴張兼并，體積逐漸膨脹，尺寸趨于均等，反射率略有下降?？煽爻潭龋赫{(diào)節(jié)設(shè)備參數(shù)，可以調(diào)節(jié)時間。

3.IPA

1. 協(xié)助氫氣的釋放。 2. 減弱 NaOH 溶液對硅片的腐蝕力度，調(diào)節(jié)各向因子。純 NaOH 溶液在高溫下對原子排列比較稀疏的 100 晶面和比較致密的 111 晶面破壞比較大，各個晶面被腐蝕而消融， IPA 明顯減弱 NaOH 的腐蝕強度，增加了腐蝕的各向異性，有利于金字塔的成形。乙醇含量過高，堿溶液對硅溶液腐蝕能力變得很弱，各向異性因子又趨于 1 。

可控程度：根據(jù)配液的含量，及每次大約消耗的量，來補充一定量的液體，控制精度不高。

4.NaOH

形成金字塔絨面。 NaOH濃度越高，金字塔體積越小，反應(yīng)初期，金字塔成核密度近似不受 NaOH 濃度影響，堿溶液的腐蝕性隨 NaOH 濃度變化比較顯著，濃度高的 NaOH 溶液與硅反映的速度加快，再反應(yīng)一段時間后，金字塔體積更大。 NaOH 濃度超過一定界限時，各向異性因子變小，絨面會越來越差，類似于拋光?？煽爻潭龋号c IPA 類似，控制精度不高。