真空泵機(jī)組渦旋泵已被廣泛應(yīng)用于諸多領(lǐng)域:①半導(dǎo)體行業(yè):薄膜制造設(shè)備、半導(dǎo)體器件封裝設(shè)備;②科學(xué)儀器行業(yè):同步輻射光束線機(jī)、電子顯微鏡、真空泵機(jī)組極光試驗(yàn)設(shè)備、分析測試儀器;③機(jī)械設(shè)備行業(yè):材料制備設(shè)備、真空檢測設(shè)備、真空過濾設(shè)備、材料提純設(shè)備、超高真空排氣設(shè)備;④行業(yè):儀器、透析機(jī);生物制品行業(yè):材料提純與藥品制備;⑤包裝行業(yè):食品、藥品、生物制品等包裝設(shè)備;⑥真空冶金行業(yè):真空爐、納米材料制備設(shè)備、真空檢測設(shè)備等領(lǐng)域。渦旋泵作為分子泵和小型低溫泵的前級泵是獲得無油真空系統(tǒng)的佳配置。它的主要運(yùn)動件只有一個動渦旋盤，因而動力傳遞簡單，相同尺寸下運(yùn)動半徑小、零部件少、結(jié)構(gòu)簡單緊湊、整機(jī)尺寸小，動、靜渦旋盤之間、動盤與泵腔之間間隙小，泵內(nèi)運(yùn)動件與泵腔無摩擦，所以幾乎無磨損，運(yùn)行平穩(wěn)，消耗功率小，氣體流動損失小，工作可靠性高、壽命長，易于維修，維修費(fèi)用低，容積。采用空氣冷卻，無需水冷。

       渦旋真空泵具有較高的壓縮比，在較寬的壓力范圍內(nèi)具有穩(wěn)定的抽速，由于壓縮腔容積的變化是連續(xù)的，因而驅(qū)動扭矩變化小，功率變化小，振動噪聲低，這是其他類型的干式真空泵所不具備的。為實(shí)現(xiàn)渦旋泵有效工作的目的，必須使渦旋型線在各個真空氣腔良好嚙合，避免由于真空腔壓差大等因素導(dǎo)致渦旋壁受力情況惡化、產(chǎn)生熱變形、排氣腔一部分高壓氣體滯留和真空泵效率降低等情況。所以要保證渦旋型線之間的包容與嚙合，控制工作介質(zhì)的泄漏，達(dá)到抽氣目的。這是渦旋泵結(jié)構(gòu)設(shè)計的重要依據(jù)。在泵的抽氣流道中，無須使用任何油類和密封液體作為介質(zhì)，依靠動、靜渦旋盤相對轉(zhuǎn)動形成吸氣腔和壓縮腔將被抽氣體排出，連續(xù)完成吸氣、壓縮和排氣過程。因此，如何防止泄漏解決密封的問題尤為重要。渦旋泵的密封主要包括軸向嚙合間隙的徑向密封，即齒頂密封，和徑向嚙合間隙的切向密封，即齒側(cè)密封。

       當(dāng)泵出現(xiàn)故障時泵能自動停車，兩個閥門一齊關(guān)閉或截流閥關(guān)閉。動力和遙控有一臺變壓器和整流器，以提供所需的電流電壓，以滿足監(jiān)控過程的需要。動力電源、繼電器用以對馬達(dá)的接通與斷開及馬達(dá)超負(fù)荷的保護(hù)。操作過程有顯示器，有按鈕控制，可控制

馬達(dá)、防返流閥的控制閥和截流閥的控制閥，第二、三、四級的凈化氣體的通斷閥，惰性氣體的主閥，凈化氣體向軸封處通氣用的

閥門等。故障的監(jiān)控報警或停車，系統(tǒng)安全自動控制，也可按鈕控制。啟動時，打開凈化氣體，泵正常運(yùn)行3min，凈化氣體向各段

涌入，通凈化氣體對泵性能有些影響。每當(dāng)遇到緊急情況可按自動停車鍵，凈化氣體繼續(xù)接通，關(guān)閉入口防返流閥，各級泵凈化

1min，凈化結(jié)束，馬達(dá)再停車，關(guān)閉惰性氣體截止閥。

      1、管道泄漏。有時候管道會因?yàn)椴煌脑虺霈F(xiàn)泄露現(xiàn)象，這時我們需要找的人來進(jìn)行排除檢查，看是否是因?yàn)檫@個的原因，如果是，那就趕緊進(jìn)行修補(bǔ)焊接，以免造成更多的泄漏。

　　2、也可能是泵內(nèi)漏，這就說明愛德華真空泵本身除了問題，我們應(yīng)該找找看具體是哪個地方漏了，然后進(jìn)行焊接補(bǔ)漏。

　　3、真空泵供水溫度高。長時間使用泵，連續(xù)的運(yùn)作，設(shè)備本身很容易出現(xiàn)這樣的現(xiàn)象。這時候我們需要緊急停下，讓設(shè)備休息幾分鐘，對其進(jìn)行冷卻。

　　4、另外愛德華真空泵的真空壓力都是一樣的。不一樣的只是流量的大小。如果真的力不夠，簡單的方法就是把吸盤改大。

　　5、如果吸附時漏氣較大，應(yīng)通過增加真空泵加大流量；如果力度不夠應(yīng)加大吸附面積；如果吸附面積大時，薄板出現(xiàn)變形，應(yīng)該為多個吸附口。