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潔凈廠房的竣工驗收合格,并經核實批準后,按要求進行功能驗收,功能驗收是在“靜態(tài)”進行測試,其主要測試內容如下:
潔凈廠房使用驗收后,應編寫使用驗收報告,其主要內容有:
1 潔凈廠房中各種設施(包括生產工藝設備)等的開啟狀態(tài)描述;
2 測試的潔凈室(區(qū))人員及其活動情況的描述;
3 分項測試記錄及分析意見(包括測試點位置、座標等);
4 測試儀器的有效校驗證書;
5 驗收出具相關結論。
無塵潔凈室內一定潔凈度下氣流速度的確定,隨潔凈室用途等具體情況而異,它不僅受室內發(fā)塵量及過濾器效率還受其他因素影響,就工業(yè)潔凈室而言,影響潔凈度及選擇氣流速度的因素主要是:
(1)室內污染源:建筑物組件、人員數量及操作活動、工藝設備、工藝材料及工藝加工本身等都是塵粒釋放源,根據具體情況而異,變化很大;
(2)室內氣流流型及分布:單向流要求均勻、平等的流線,但會受到工藝設備布置和位置變動及人員活動情況等的干擾形成局部渦流;而非單向流要求充混合,避免死角及溫度分層。
無塵車間按照等級劃分標準,主要可以分為百級無塵車間、千級無塵車間、萬級無塵車間、十萬無塵車間等好幾種等級,那么你知道什么叫千級無塵車間嗎?2萬級無塵室5微米的灰塵顆粒小于60萬個,千級無塵室5微米的灰塵顆粒小于5萬個。
微塵數量被嚴格控制在每立方米1000個以內,這也就是業(yè)內俗稱級別中的千級無塵車間。目前應用在芯片級生產加工的無塵標準對于灰塵的要求高于A1級,這樣的高標主要被應用在一些等級較高芯片生產上。裝配式無塵車間廠房的全部維修工廠內按統(tǒng)一模數及系列加工完成。1、1級:級的無塵車間主要用于制造集成電路的微電子工業(yè),對集成電路的精1確要求為亞微米。