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激光干涉儀的類型有哪些？

您知道激光干涉儀的類型有哪些嗎？

1、單頻激光干涉儀

從激光器發(fā)出的光束，經(jīng)擴(kuò)束準(zhǔn)直后由分光鏡分為兩路，并分別從固定反射鏡和可動反射鏡反射回來會合在分光鏡上而產(chǎn)生干涉條紋。當(dāng)可動反射鏡移動時，干涉條紋的光強(qiáng)變化由接受器中的光電轉(zhuǎn)換元件和電子線路等轉(zhuǎn)換為電脈沖信號，經(jīng)放大后輸入可逆計(jì)數(shù)器計(jì)算出總脈沖數(shù)，再由電子計(jì)算機(jī)按計(jì)算式式中λ為激光波長(N 為電脈沖總數(shù))，算出可動反射鏡的位移量L。使用機(jī)床測頭系統(tǒng)就使得這一過程簡單快捷而準(zhǔn)確可靠，我們只需將工件固定，然后使用機(jī)床測頭對定位基準(zhǔn)（點(diǎn)、面、孔、軸、臺階、角）進(jìn)行在機(jī)測量，便可迅速確定和更新機(jī)床加工坐標(biāo)，整個過程只需幾十秒。使用單頻激光干涉儀時，要求周圍大氣處于穩(wěn)定狀態(tài)，各種空氣湍流都會引起直流電平變化而影響測量結(jié)果。

校驗(yàn)測針要注意的問題：

測針校驗(yàn)后的校正直徑小于名義值，不會影響三座標(biāo)測量機(jī)的測量精度。從以上所敘的校驗(yàn)測針的原理中可知，標(biāo)準(zhǔn)球直徑值直接影響測針寶石球直徑的校驗(yàn)值，雖然這是一個小概率事件，但是對初學(xué)者來說，這也有可能發(fā)生的。相反，還會對觸測和測針的變形起到補(bǔ)償?shù)淖饔?，因?yàn)槲覀冊谟萌鴺?biāo)測量機(jī)測量過程中測量軟件對紅寶石球半徑的修正（把測針紅寶石球中心點(diǎn)的坐標(biāo)換算到觸測點(diǎn)的坐標(biāo)），使用的是校正直徑而不是名義直徑。

氮化硅

氮化硅具有許多與紅寶石類似的特性。

這是一種非常堅(jiān)硬耐磨的陶瓷材料，可加工成球體。也可拋光為光滑的表面光潔度。

氮化硅與鋁之間沒有吸附性，因此不存在紅寶石測球在類似場合所發(fā)生的粘附磨損現(xiàn)象。但氮化硅在鋼材表面掃描時卻具有很顯著的磨擦磨損特性，因此其應(yīng)用限制在鋁質(zhì)工件上。