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真空腔體定制公司咨詢客服「沈陽鵬程」

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發(fā)布時間:2021-04-18 13:28  






長方形一體成型腔室

超高真空(UHV)是一門精密技術(shù)的藝術(shù),各種鍍膜、檢測分析、量測、及其他實驗皆可根據(jù)需求整合在一個或多個的超高真空(UHV)腔體(箱體),或以超高真空傳輸系統(tǒng)進(jìn)行鏈接,Htc日揚(yáng)真空在超高真空(UHV)腔體(箱體)制作擁有豐富經(jīng)驗及技術(shù)。我們根據(jù)不同的實驗需求對超高真空(UHV)腔體(箱體)進(jìn)行精密的設(shè)計,能滿足配合客戶實驗上的各種質(zhì)量及性能要求。

1. 腔體常規(guī)材質(zhì):不銹鋼304,可定制不銹鋼316、316L腔體;

2. 腔體可根據(jù)需求設(shè)有快開進(jìn)樣門,鉸鏈機(jī)構(gòu),移動靈活,快開門密封件材質(zhì)采用氟橡膠;

3. 法蘭接口、腔體大小根據(jù)客戶需求定制;

4. 腔室內(nèi)外徹底超聲波清洗,表面清潔;

5. 腔室漏率≤1X10-12Pam3/s;

6. 配合適的真空系統(tǒng),真空度可進(jìn)入10-6Pa;

7. 供貨周期:確認(rèn)方案后5到6周;

以下是沈陽鵬程真空技術(shù)有限責(zé)任公司為您一起分享的內(nèi)容,沈陽鵬程真空技術(shù)有限責(zé)任公司專業(yè)生產(chǎn)長方形一體成型腔室產(chǎn)品,歡迎新老客戶蒞臨。



真空腔體的焊接工藝

鋁合金真空腔體密封水道焊接,有其特別的重要性。鋁合金焊接本身就因為其特殊的物理性能,容易出現(xiàn)氣孔,裂紋等缺陷。鋁合金真空腔密封水道的焊接更加增添了焊接的難度,鋁合金從固態(tài)轉(zhuǎn)變?yōu)橐簯B(tài)時,無明顯的顏色變化,所以不易判斷母材溫度,焊接預(yù)熱溫度過低,起弧困難,焊接預(yù)熱過高,影響母材組織性能,因此焊接預(yù)熱溫度,焊接速度的控制,都有很高的要求。另外,此零件焊接缺陷及其敏感,任何焊接不連續(xù)缺陷都是不允許的,焊后機(jī)加表面仍不允許出現(xiàn)氣孔等缺陷,精加后先對零件進(jìn)行氦氣泄漏檢測,檢測要求氦測儀保持在1×10-9ATM CC/MEC以上,不漏;氦測后水壓測試,水壓保持120PISG,要求保壓1h不漏,因此,鋁合金水道蓋板與真空腔體水道進(jìn)行焊接的焊接難度較大,因此焊接工藝是非常重要的。



真空腔體烘烤注意事項

真空腔體烘烤時的真空度變化結(jié)果,烘烤采用纏繞加熱帶的方式。當(dāng)真空度達(dá)到約10-3 Pa時,開始給加熱帶逐漸通電加熱,保持腔體在150℃下進(jìn)行長時間烘烤。烘烤過程中關(guān)閉離子泵,同時也給離子泵通電進(jìn)行加熱烘烤,這時的真空腔體只靠分子泵和前級泵來排氣。隨著腔體溫度的升高,腔體內(nèi)表面吸附的水蒸氣等氣體分子大量放出,真空度會迅速惡化。氣體的放出量隨著烘烤時間的延長而逐漸減少,因此真空度也逐步好轉(zhuǎn)。停止烘烤時,切斷加熱帶和離子泵的烘烤電源,然后趁腔體仍處在高溫的狀態(tài)下對鈦升華泵進(jìn)行除氣處理。鈦升華泵的除氣處理是指給Ti絲通電加熱,但又控制溫度在Ti升華溫度之下的操作。鈦升華泵除氣處理的目的是清除吸附在Ti絲表面的氣體分子以及其他可能的污染物,以確保鈦升華泵的正常工作。充分完成鈦升華泵的除氣處理之后,啟動離子泵和鈦升華泵,加大真空排氣的力度。隨著排氣力度的增大和由于腔體溫度降低而放出氣體的減少,系統(tǒng)的真空度會迅速好轉(zhuǎn)。

新完成的腔體一次烘烤時,一般需要一周時間,重復(fù)烘烤后單獨(dú)的烘烤時間可以適當(dāng)減少。為了更準(zhǔn)確地測量真空度,停止烘烤后也應(yīng)該對真空計進(jìn)行除氣處理。如果真空泵能力充分而且烘烤時間充足的話,烘烤后真空度可提升幾個數(shù)量級。



真空腔體中抽氣管道的設(shè)計原則

為一個工藝選擇真空泵時,工藝室和泵之間的抽氣管道可能和泵的選擇一樣重要。要使腔體抽氣速率達(dá)到大,需要筆直的抽氣管道(長度短)并使用直徑盡可能大的管道。

看起來似乎很簡單,但是這里有許多因素需要考慮。實際上,如果我們從物理學(xué)角度考慮,就可以明確哪些是關(guān)鍵因素。真空腔體

在穩(wěn)定狀態(tài)的條件下,如果抽氣管道內(nèi)沒有氣源(泄漏)或氣體減少(冷凝),抽氣管道任何截面的質(zhì)量流量必須相同。簡單而言,進(jìn)入工藝室的氣體必須從泵出來。

已知?dú)怏w摩爾流量為M(公斤/摩爾)、抽氣速率為S(立方米/秒)、壓力為P(帕)、溫度為T(開爾文),則質(zhì)量流量計算如下:

質(zhì)量流量(公斤/秒)=(M*P*S)/(Ro*T)

Ro=通用氣體常數(shù)

對于大多數(shù)抽氣系統(tǒng)而言,氣體溫度(T)在抽氣管道中不會顯著減少,而且可以合理地假定為恒定的。

在此情況下,抽氣管道任何截面(P*S)的乘積(稱為通量)相同。真空腔體

由于抽氣管道的壓力差是氣體流動的推動力,可見壓力(P)必須在工藝室中為高值,在泵入口為低值。

由于我們假定通量恒定,可見抽氣速率(S)在工藝室為小值,在泵入口為大值(等于泵速)。




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