一般來說，被處理的工件在爐內(nèi)加熱緩慢，內(nèi)熱溫差較小，熱應(yīng)力小，因而變形小。產(chǎn)品合格率高?？山档统杀?，有除氣作用，從而提高了工作的機(jī)械性能和使用壽命。工作環(huán)境好，操作安全，沒有污染和公害。被處理的工件沒有氫脆危險，對鈦材和難熔金屬殼防止表面氫脆，真空熱處理工藝的穩(wěn)定性和重復(fù)性好。這一系列的優(yōu)點(diǎn)，開發(fā)真空熱處理設(shè)備和工藝被越來越重視和應(yīng)用越來越廣。

真空熱處理即真空技術(shù)與熱處理兩個專業(yè)相結(jié)合的綜合技術(shù)，是指熱處理工藝的全部和部分在真空狀態(tài)下進(jìn)行的。我國將真空劃分為低、中、高和超高真空。

真空爐的結(jié)構(gòu)特點(diǎn)主要包括:

  (1)嚴(yán)格的真空密封。金屬制品進(jìn)行燒結(jié)或者熱處理均在密閉的真空爐內(nèi)進(jìn)行，因此獲得和維持爐子原定的漏氣率、保證真空爐的工作真空度，對確保制品的質(zhì)量有非常重要的意義。為了保證真空爐的真空性能，在真空爐設(shè)計(jì)中必須遵循的基本原則是:爐體要采用氣密焊接;在爐體上盡量少開孔或者不開孔;少采用或避免采用動密封結(jié)構(gòu)，以盡量減少真空泄漏;安裝在爐體上的附件，如水冷電極、熱電偶導(dǎo)出裝置都必須設(shè)計(jì)密封結(jié)構(gòu)。

  (2)加熱與隔熱材料只能在真空狀態(tài)下使用。真空電阻爐的加熱與隔熱材料在高溫與真空下工作，對這些材料提出了耐高溫、蒸氣壓低、輻射效果好、導(dǎo)熱系數(shù)小等要求，對杭氧化性要求不高。真空電阻爐廣泛采用了鎢、鋁、鉭和石墨等加熱與隔熱材料，而這些材料在大氣狀態(tài)下極易氧化，常規(guī)電阻爐一般不采用它們作加熱材料。

  (3)冷卻裝置。真空爐的爐殼、爐蓋、電熱元件導(dǎo)出裝置〔水冷電極)、中間真空隔熱門等部件均在真空、受熱狀態(tài)下工作，為了保證各部件的結(jié)構(gòu)不變形，真空密封圈不過熱、不燒損，各部件應(yīng)該根據(jù)不同的情況設(shè)置水冷裝置，以保證爐子正常運(yùn)行并有足夠的使用壽命。

  (4)采用低電壓、大電流。當(dāng)真空度在0.1一IO0Pa范圍內(nèi)時，通電導(dǎo)體在較高的電壓下會產(chǎn)生輝光放電現(xiàn)象，嚴(yán)重的會產(chǎn)生弧光放電以致燒毀電熱元件、隔熱層等。因此，真空爐電熱元件的工作電壓一般都不超過80-100V。同時，在電熱元件結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)時要采取一些有效措施，如盡量避免有的部件、電極間距不能太小等。

  (5)要求自動程度高。

真空爐中真空壓力表的主要特點(diǎn)

真空壓力表是利用氣體的壓力差變化所引起的彈性元件機(jī)械變形來測量壓力的。根據(jù)所采用的彈性元件不聽，把真空壓力表分成三種類型，即彈簧管式、薄膜式和膜盒式，真空壓力表主要特點(diǎn)如下：

（1）性能穩(wěn)定，測量精度較高，反應(yīng)速度較快。

（2）屬真空計(jì)，精度0.5級以上的可作為標(biāo)準(zhǔn)真空計(jì)使用。

（3）測量的是總壓力，包括氣體和蒸汽的壓力。

（4）測量的結(jié)果與氣體種類，成分及其性質(zhì)無關(guān)。

（5）測量過程中，真空計(jì)本身吸氣和放氣很小，不會對被測氣氛產(chǎn)生影響。

（6）真空計(jì)內(nèi)部沒有高溫部件，不會使油蒸氣分解。

（7）若選用耐腐蝕材料制造，可測量腐蝕性氣體壓力。

（8）結(jié)構(gòu)牢固，而且便于密封和安裝。

（9）操作簡便，不需調(diào)整，但需要定期校驗(yàn)。

真空爐在平時的試驗(yàn)中如果有液體存在，就需要一個液體蒸發(fā)的過程（高真空下不需要加熱也能氣化），可以通過長時間拉真空來氣化掉這部分液體從而達(dá)到高真空（等穩(wěn)定),如果長時間都達(dá)不到目標(biāo)氣壓的話，就要考慮系統(tǒng)和羅茨泵了，你可以直接測一下極限真空（不接入其他系統(tǒng)），若完好則就是系統(tǒng)的密封性能了。

(1)水冷裝置，真空熱處理爐的爐殼、爐蓋、電熱元件導(dǎo)別處置(水冷電極)、中間真空隔熱門等部件，均在真空、受熱狀態(tài)下工作。在這種極為不利的條件下工作，必須保證各部件的結(jié)構(gòu)不變形、不損壞，真空密封圈不過熱、不燒毀。因此，各部件應(yīng)該根據(jù)不同的情況設(shè)置水冷裝置，以保證真空熱處理爐能夠正常運(yùn)行并有足夠的使用壽命。

(2)采用低電壓大電流：在真空容器內(nèi)，當(dāng)真空空度為幾托一lxlo-1托的范圍內(nèi)時，真空容器內(nèi)的通電導(dǎo)體在較高的電壓下，會產(chǎn)生輝光放電現(xiàn)象。在真空熱處理爐內(nèi)，嚴(yán)重的會產(chǎn)生弧光放電，燒毀電熱元件、隔熱層等，造成重大事故和損失。因此，真空熱處理爐的電熱元件的工作電壓，一般都不超過80一100伏。同時在電熱元件結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)時要采取有效措施，如盡量避免有的部件，電極間的間距不能太小窄，以防止輝光放電或者弧光放電的發(fā)生。