真空鍍膜機(jī)的陰極電弧技術(shù)

真空鍍膜機(jī)的陰極電弧技術(shù)是利用真空環(huán)境下的弧光放電，使固體陰極靶材蒸發(fā)、離化并通過(guò)等離子體的強(qiáng)化作用，飛向陽(yáng)極基體表面沉積成膜的技術(shù)。正因?yàn)槿绱?，陰極電弧技術(shù)具有極高的沉積速率。

在含有惰性氣體或反應(yīng)氣體的真空環(huán)境下沉積在基體表面，具有高能量的離子束對(duì)于提高膜基結(jié)合力和打亂膜的柱狀晶結(jié)構(gòu)是非常有利的，從而也可大幅度改善膜的組織結(jié)構(gòu)和力學(xué)性能。目前，各薄膜設(shè)備制造商通過(guò)對(duì)成膜原理和工藝的研究采用各種不同的措施來(lái)減少“液滴”的產(chǎn)生。

其中BAI1200、RCS是采用圓形平面陰極源技術(shù)和輻射加熱技術(shù),可進(jìn)行快速鍍膜生產(chǎn)。利用該工藝制備的TiAlN可增強(qiáng)加工工具切削刃的穩(wěn)定性，并使干切削加工成為可能。

真空鍍膜機(jī)中電磁控制的發(fā)展

真空鍍膜機(jī)在現(xiàn)在對(duì)產(chǎn)品的表面處理上具有的優(yōu)勢(shì)還是比較明顯的，這種鍍膜機(jī)械比起其他的表面處理設(shè)備來(lái)說(shuō)，在加工方面，本身是需要在真空的環(huán)境中進(jìn)行的，這樣的鍍膜方式就把外界的一些影響因素給“屏蔽”了，這是這種真空鍍膜機(jī)的一個(gè)優(yōu)勢(shì)之處。

而對(duì)于真空鍍膜機(jī)械來(lái)說(shuō)，目前的電路的發(fā)展也十分迅速，很多電子化的產(chǎn)品也被運(yùn)用到電路當(dāng)中，也使得這些機(jī)械逐漸發(fā)展成為了電動(dòng)化、自動(dòng)化的設(shè)備。

其中濺控濺射鍍膜機(jī)就是比較好的一類代表，作為一種裝置來(lái)說(shuō)，它也是體現(xiàn)出真空鍍膜技術(shù)先進(jìn)手段的代表，利用磁力進(jìn)行控制，通電產(chǎn)生的電磁效用等都對(duì)鍍膜技術(shù)進(jìn)行輔助。

可以說(shuō)是目前表面處理技術(shù)中值得關(guān)注的一類，而電磁控制的鍍膜機(jī)械的產(chǎn)生對(duì)現(xiàn)在的鍍膜設(shè)備來(lái)說(shuō)，提高了鍍膜時(shí)候膜層的粒子量，這是這種鍍膜機(jī)械的主要運(yùn)用了。

真空鍍膜設(shè)備選購(gòu)要點(diǎn)分析

真空鍍膜設(shè)備選購(gòu)要點(diǎn)分析如下：

1、爐體可選擇由不銹鋼、碳鋼或它們的組合制成的雙層水冷結(jié)構(gòu)。

2、根據(jù)工藝要求選擇不同規(guī)格及類型的鍍膜設(shè)備，其類型有電阻蒸發(fā)、電子束蒸發(fā)、磁控濺射、磁控反應(yīng)濺射、離子鍍、空心陰極離子鍍、多弧離子鍍等。

3、夾具運(yùn)轉(zhuǎn)形式有自轉(zhuǎn)、公轉(zhuǎn)及公轉(zhuǎn) 自轉(zhuǎn)方式，用戶可根據(jù)基片尺寸及形狀提出相應(yīng)要求，轉(zhuǎn)動(dòng)的速度范圍及轉(zhuǎn)動(dòng)精度：普通可調(diào)及變頻調(diào)速等。

4、真空系統(tǒng)由機(jī)械泵、擴(kuò)散泵、油增壓泵、增擴(kuò)泵、羅茨泵、堝輪分子泵等及與它們相匹配的各種氣動(dòng)、手動(dòng)、電動(dòng)閥門(mén)、管道等組成。

5、根據(jù)工藝要求選擇鍍制方式及形式，如電阻蒸發(fā)（鎢絲、鉬舟、石墨舟）磁控源（同軸圓柱型磁控源、園柱型平面磁控源、矩型平面磁控源等）以靶材材質(zhì)及尺寸多弧源（Ф60，Ф80直徑靶材，氣動(dòng)、電動(dòng)的引弧等），真空測(cè)量可選擇數(shù)字式智能真空計(jì)及其的測(cè)量規(guī)管，及其它測(cè)量?jī)x器，如自動(dòng)壓強(qiáng)控制儀等。膜厚測(cè)量可選用方塊電阻測(cè)量?jī)x，透過(guò)率計(jì)等。

6、充氣方式可選用質(zhì)量流量計(jì)、浮子流量計(jì) 針閥及相應(yīng)的充氣閥門(mén)，并可選擇多路充氣管路及相應(yīng)流量參數(shù)。

7、根據(jù)需烘烤的結(jié)構(gòu)提出烘烤溫度、材質(zhì)以及所需配備相應(yīng)儀表測(cè)量。

8、根據(jù)設(shè)備使用特點(diǎn)，可選擇手動(dòng)、半自動(dòng)、全自動(dòng)或其組合的控制方式。

9、完善的報(bào)警系統(tǒng)，對(duì)真空室體、擴(kuò)散泵斷相、缺水、氣壓、電源負(fù)載的過(guò)壓、過(guò)流等異常情況進(jìn)行聲光報(bào)警。