工作完畢，切斷電爐電源，等爐溫降到一定溫度后，關閉擴散泵加熱電源。在抽預真空狀態(tài)下，等油增壓泵降油溫，然后關真空閥，關機械真空泵，后關冷卻水和總電源。工作結束后，應及時填寫設備使用記錄及相關文件，整理及打掃工作現(xiàn)場，消滅事故隱患。

真空設備操作應注意，擴散泵加熱時，主抽泵及前級閥需打開抽真空。主閥必須在前級閥打開后才能打開。主閥未關上時，爐體放氣閥不能打開。

真空設備的改造。為防比大量冷空氣進行擴散泵和增壓泵，可在抽高真空管道系統(tǒng)加裝一臺維持泵，實現(xiàn)真空閥與放氣閥之問互鎖，從而確保設備安全運行。由于管路沒有加維持泵，在抽高真空時，氣動擋板閥由于損壞或誤操作而漏氣，使冷空氣進入，冷空氣遇高溫油蒸氣，使氣體迅速膨脹發(fā)生。

在萊寶螺桿泵維修過程中，還必須檢查橡膠密封的老化程度，檢查排氣閥片是否開裂，并清理掉沉積在閥片和排氣閥座上的污垢。清潔真空泵室內的所有零件，如彈簧等。通常，它用清洗并干燥。清潔橡膠部件后，用干布擦干。清潔和組裝時，小心輕放，小心輕放，避免碰撞。萊寶螺桿泵維修拆卸后，需要重新組裝后投入試運行，一般情況下，應在無空氣的情況下運行2小時，并應更換兩次機油。由于真空泵在清洗過程中會留有一定量的揮發(fā)性物質，正常運行后應投入正常運行。


在普旭真空泵維修過程中，由于真空泵長時間停用，也可能發(fā)生跳閘。如果長時間停用電機負載，臨時電流將過高。此時，可以關閉真空泵的進氣口來加熱泵體。在普旭真空泵的維護期間，由于真空泵電機連接到兩相電源，也可能發(fā)生跳閘。如果三相電源沒有啟動，可以接通真空泵的三相電源。如果運行約10小時后出現(xiàn)跳閘和脫扣，應調整電流上限。普旭真空泵在維護過程中，也可能由于真空泵排氣口吸入異物或雜質、電機負載、檢查內部是否有故障的可拆卸真空泵等造成跳閘現(xiàn)象。