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電子氣體的分類
一般電子氣體可劃分為大宗普通氣體、特種氣體和大宗特種氣體。目前電子消費(fèi)品的種類繁多以及升級(jí)換代日趨頻繁,同類產(chǎn)品的不同制造規(guī)模、不同級(jí)別檔次的生產(chǎn)工廠和科研機(jī)構(gòu)共存。
大規(guī)模供氣系統(tǒng)主要針對(duì)大規(guī)模量產(chǎn)的超大規(guī)模集成電路廠(氣體種類包括等),以上的太陽(yáng)能電池生產(chǎn)線(氣體種類包括發(fā)光二極管的磊晶工序線(氣體種類包括,代以上液晶顯示器工廠(氣體種類包括,光纖(氣體種類包括硅材料外延生產(chǎn)線(氣體種類包括等行業(yè)。它們的投資規(guī)模巨大,采用先進(jìn)的工藝制程設(shè)備,用氣需求大,對(duì)穩(wěn)定和不間斷供應(yīng)、純度控制和安全生產(chǎn)提出嚴(yán)格的要求。上述工廠的大宗普通氣體多采用現(xiàn)場(chǎng)制氣或工業(yè)園區(qū)管道集中供應(yīng)方式,一個(gè)年產(chǎn)萬片的超大規(guī)模集成電路廠高純氮?dú)獾男枨蟪^,發(fā)光二極管的磊晶工序線和硅外延生產(chǎn)線的氫氣需求超過。除了普通鋼瓶(及以下)包裝的特種氣體外,還有多種類的特種氣體都普遍采用大包裝容器,由此它們被稱為大宗特氣,包括鋼瓶集裝格罐等。
因?yàn)殡娮庸I(yè)投資規(guī)模越來越大,縮短建設(shè)周期,降低建設(shè)成本也越來越重要。對(duì)電子氣體輸送系統(tǒng)而言,如何在不降低系統(tǒng)污染控制水平和不犧牲安全配置前提下,努力減少建設(shè)和運(yùn)行成本,同樣是一個(gè)挑戰(zhàn)。合理配置系統(tǒng),合理選型材料,可顯著降低初始投資費(fèi)用。這就要求電子氣體輸送系統(tǒng)承包商具備較強(qiáng)的系統(tǒng)設(shè)計(jì)能力。性質(zhì)相匹配的氣體,采用同一吹掃氮?dú)庀到y(tǒng),可顯著節(jié)約氣瓶柜的投資。對(duì)于可采用移動(dòng)式吹掃氮?dú)獗P。小
管路的施工,直接采用彎管的方式,即節(jié)約了彎頭的費(fèi)用,也大大提高了施工效率。嚴(yán)格執(zhí)行高純管路施工規(guī)范,可大大降低測(cè)試氣體和測(cè)試時(shí)間。這些都是行之有效的成本控制措施。采用大包裝容器的氣源,可大大降低物流和人力操作等運(yùn)行費(fèi)用。因而越來越受到更多客戶的青睞。
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空氣中游離的氮?dú)?/strong>,一向被人看作是一種懶惰的氣體。它似乎對(duì)什么都不感興趣,既不幫助燃燒,也不維持生命。在把氮?dú)鈱懗伞暗瓪狻币馑际钦f:“它沖淡了空氣中的氧氣?!?
氮?dú)庥惺裁从??人們利用氮?dú)膺@種孤獨(dú)的脾氣為人類服務(wù)。很多電燈泡里都灌有氮?dú)?,因?yàn)檫@樣可以減慢鎢絲的揮發(fā)速度。在測(cè)量溫度為300~500℃的溫度計(jì)里,水垠柱上邊,常裝滿有氮?dú)?,使水垠受高溫時(shí)不會(huì)沸騰,又不會(huì)氧化。有的博物館,把貴重而罕有的畫頁(yè)、書卷保存在裝滿氮?dú)獾膱A筒里。因?yàn)橹x在氮?dú)庵胁荒苌?,也就無法搗蛋了。今年來,我國(guó)還把糧食用巨大的塑料帳幕籠罩起來,抽走里面的空氣,充進(jìn)氮?dú)?。這樣可以使霉菌、蛀蟲無法生存,而且可以抑制糧食的呼吸作用,使糧食能夠長(zhǎng)期安全保存。這種保存糧食的新方法,叫“真空充氮貯糧。