好的潔凈車間設(shè)計不僅能節(jié)省能源、降低運(yùn)行成本、降低人力投入，而且可以給生產(chǎn)提供安全可靠的保證。充分發(fā)揮潔凈室圖紙審查中心的職能作用，像工程質(zhì)監(jiān)站監(jiān)督施工質(zhì)量一樣，審查、監(jiān)督設(shè)計質(zhì)量。在3種潔凈系統(tǒng)中，F(xiàn)FU循環(huán)系統(tǒng)運(yùn)行成本很低，潔凈度安全性很高，因此集成電路潔凈廠房多采用FFU循環(huán)系統(tǒng)。而潔凈度要求越高，溫濕度控制精度越高則潔凈室投資和運(yùn)行成本越高，因此在大環(huán)境潔凈度或溫濕度要求相對較低的情況下，將一些關(guān)鍵的工藝設(shè)備布置在較高潔凈度或溫濕度控制區(qū)域內(nèi)是集成電路制造潔凈廠房的設(shè)計趨勢。

　　潔凈車間是一個多功能的綜合體，潔凈車間工程是一個多學(xué)科、多領(lǐng)域、綜合性的工程。由于潔凈車間工程技術(shù)難度高，工程造價大，因此，在實(shí)施潔凈工程時，一直注重潔凈車間的設(shè)計。清潔車間的設(shè)計一般應(yīng)遵循“三不一要”的原則。

　　一、不帶入：不向潔凈車間帶入任何灰塵。

　　遵循這個原則，潔凈車間設(shè)計時，應(yīng)做好如下的工作：

　　1、過濾器正確安裝，不會出現(xiàn)灰塵泄漏的情況。

　　2、保持潔凈車間相對于室外的正壓，只能讓室內(nèi)的污染空氣出去，不能讓室外的空氣通過縫隙進(jìn)入潔凈車間。

　　3、人員進(jìn)入潔凈車間之前，必須做好清潔工作，更換潔凈服，并經(jīng)過風(fēng)淋室風(fēng)淋，如此方可進(jìn)入。

　　4、材料與設(shè)備經(jīng)清潔后方可進(jìn)入潔凈車間。

非工作時間采用值班風(fēng)機(jī)運(yùn)行，關(guān)閉系統(tǒng)中的送回風(fēng)機(jī)。搭接處的縫隙有別于固定縫隙，因活動扇需要開啟而木能采取“一勞永逸”的封固措施。非工作時間，送風(fēng)機(jī)、回風(fēng)機(jī)均停止運(yùn)行，為了使系統(tǒng)停止運(yùn)行后，避免室外污染空氣通過安徽車間凈化的圍護(hù)結(jié)構(gòu)縫隙和由新風(fēng)口經(jīng)回風(fēng)道進(jìn)入安徽車間凈化，破壞室內(nèi)的潔凈度而設(shè)置值班風(fēng)機(jī)；值班風(fēng)機(jī)的風(fēng)量一般是按維持室內(nèi)要求的正壓值所需的換氣次數(shù)來考慮的，值班風(fēng)機(jī)運(yùn)行中所消耗的電能和處理空氣所消耗的冷、熱量要比系統(tǒng)運(yùn)行時小得多，設(shè)有值班風(fēng)機(jī)的凈化空調(diào)系統(tǒng)在非工作時，盡量使用值班風(fēng)機(jī)運(yùn)行，以達(dá)到更好的節(jié)能效果。