微孔激光加工

微孔激光加工機器是這個時代發(fā)展必用的設(shè)備，近代工業(yè)和科學(xué)技術(shù)的迅速發(fā)展，使用硬度大、熔點高的材料越來越多，傳統(tǒng)的加工方法已不能滿足某些工藝需求?？捎脕磉M行打孔、切割、銑削、焊接、刻蝕、大型零件的強化和修復(fù)、材料表面改性和材料合成、模具、模型和零件的快速制造等。從人們提出先進制造技術(shù)以來，激光鉆微孔加工技術(shù)發(fā)展極為迅速，一方面激光技術(shù)的快/速發(fā)展促進了超短脈沖激光在微孔加工中的應(yīng)用，如皮秒、飛秒的出現(xiàn)，大大提高了激光微孔加工的精度，同時減小了激光加工后材料的熱影響區(qū)，特別是激光器技術(shù)的發(fā)展，為微孔加工提供了新的工業(yè)應(yīng)用選擇。

微孔的定義與分類

在機械加工中，孔加工約占其加工總量的1／3 ?？准庸な前敕忾]式切削 ，排屑、熱量傳散、切削液冷卻都困難，特別孔深加工難度更大。

孔的定義與分類，國家標(biāo)準GB1800—1979的規(guī)定：孔主要指圓柱形的內(nèi)表面?？淄ㄈ缦路椒ǚ诸悾?

1）形狀分。有圓柱孔、圓錐孔、鼓形孔、多邊形孔、花鍵孔和其它異形孔以及特形孔（如彎曲孔）等。其中，以圓柱孔使用為廣泛。

2）形態(tài)分。有通孔及盲孔（不通孔）；深孔（指孔的深度L與孔徑D之比超過5的孔，L／D簡稱深徑比或長徑比；L／D＝5～20屬一般深孔，L／D﹥20～30屬中等深孔，L／D﹥30～100稱為特殊深孔）及淺孔。

3）孔徑的大小分。有大孔（D﹥100mm）、普通孔（D＝10～100mm）、小孔（D＝1～10mm）和微孔（D＜1mm的孔）。

直徑0.1mm小孔機械加工

機械加工小孔的方法是通過刀具或鉆頭來完成，是一種歷史悠久的傳統(tǒng)加工方法，在目前的加工領(lǐng)域應(yīng)用很廣泛，在小孔加工領(lǐng)域，常用的機械加工方法是鉆削，鉆削具有生產(chǎn)，表面質(zhì)量和加工精度較高，是一種精度、經(jīng)濟和效率都優(yōu)越的加工方法，但是加工0.1mm的小孔尤其是密集型小孔加工方面任然存在著缺陷和相當(dāng)大的難度，主要原因是鉆頭的直徑也要小于0.1mm，0.1mm以下的鉆頭制造都已經(jīng)相當(dāng)?shù)睦щy，就算可以制造出0.1mm以下的鉆頭，又因為鉆頭直徑小，其剛性和強度都明顯降低，在機床加工過程中因為搖晃會不斷折斷。激光加工則是利用高能量密度激光束照射工件，將材料加熱、熔化、氣化的一種無機械接觸的加工方法。所以直徑0.1mm小孔加工尤其是密集的小孔加工用機械加工的方式基本是不可行的。

蝕刻也稱光化學(xué)蝕刻,指通過曝光,顯影后將要蝕刻區(qū)域的保護膜去除,在蝕刻時觸摸化學(xué)溶液,運用兩個陽形通過從兩面的化學(xué)研磨抵達溶解的作用,構(gòu)成凹凸或許鏤空成型的作用。蝕刻是很有針對性的，是指受控腐蝕，是金屬通過化學(xué)方法進行一種可以控制的加工方法。有大孔（D﹥100mm）、普通孔（D＝10～100mm）、小孔（D＝1～10mm）和微孔（D＜1mm的孔）。跟著電子科技的發(fā)展，越來越多需求許多調(diào)集形狀雜亂、精細度要求高而機械加工難以實現(xiàn)的超薄形工件。而化學(xué)蝕刻方法卻易抵達部件平整、刺、圖形雜亂的要求，且加工周期短、本錢低。它的化學(xué)原理是使用三氯化鐵水溶液作為腐蝕劑與金屬反應(yīng)。