潔凈室中的溫濕度控制

潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來確定，但在滿足工藝要求的條件下，應考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現(xiàn)了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴的趨勢。具體工藝對溫度的要求以后還要列舉，但作為總的原則看，由于加工精度越來越精細，所以對溫度波動范圍的要求越來越小。例如在大規(guī)模集成電路生產的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100 um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以必須有±0.1度的恒溫，同時要求濕度值一般較低，因為人出汗以后，對產品將有污染，特別是怕鈉的半導體車間，這種車間溫度不宜超過25度，濕度過高產生的問題更多。相對濕度超過55%時，冷卻水管壁上會結露，如果發(fā)生在精密裝置或電路中，就會引起各種事故。相對濕度在50%時易生銹。水平層流式：水平式空氣自過濾器單方向吹出，由對邊墻壁之回風系統(tǒng)回風，隨風向排出室外，一般在下流側污染較嚴重。此外，濕度太高時將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學吸附在表面難以清除。相對濕度越高,粘附的越難去掉，但當相對濕度低于30%時，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面，同時大量半導體器件容易發(fā)生擊穿。對于硅片生產的濕度范圍為35—45%。

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特性：能提高地板基體的強度與整體性，粘接力強，不易龜裂，防漏水，防腐性能極佳，不易老化，美觀易清理。

適用范圍：要求加強抗拉力的水泥地面或防強酸、強堿、化學溶劑、防腐蝕的一樓地面及排水溝等。

特性：

1、固化后的表面硬度高，耐磨損，不起塵；

2、使地面能抵受大的沖擊荷載；

3、與基層混泥土整體粘接，不起鼓，不脫落；

4、堅硬密實的表面可以較大限度的抵抗油脂，特種液壓油和多種工業(yè)用化學試劑的侵蝕滲透；

5、日常清潔方便簡單，節(jié)省物料，降低費用。

適用范圍：適用于大部分工業(yè)廠房、倉庫、停車場、貨倉式商場等，尤其是有車輛行走的區(qū)域。

特性：擁有環(huán)氧樹脂地板的一切優(yōu)異性能，可快速排泄靜電電荷、防靜電效力持久、表面電阻率達到10?5-109Ω、地面電阻排泄符合國際GB6650-86A標準。

適用范圍：生物工程車間、電子、微電子車間、無塵凈化室、電子元件生產區(qū)、半導體車間SMT、邦定車間等。