三維形貌測量系統(tǒng)

可用于物體表面三維形貌和變形測量。由于該系統(tǒng)既可配備10倍變焦遠距離顯微成像鏡頭，也可配備普通變焦鏡頭，使得該系統(tǒng)能同時滿足細觀及宏觀的測量要求。不僅可用于微電子、生物、微機械等微細結(jié)構(gòu)的形貌及變形測量，也可用于混凝土結(jié)構(gòu)、巖土試樣等大型構(gòu)件表面形貌和變形測量。系統(tǒng)配有專用的相移條紋圖像處理軟件，使得系統(tǒng)測量精度明顯提高，并且使用方便、操作簡單。

 三維表面形貌儀是一款光學(xué)表面形貌儀,非常適合對表面幾何形狀和表面紋理分析，以標(biāo)準(zhǔn)方案或定制性方案對二維形貌或三維形貌表面形貌和表面紋理，微米和納米形狀，圓盤，圓度，球度，臺階高度，距離，面積，角度和體積進行多范圍測量?；诟盗⑷~變換的空間過濾工具使得高通、低通、通頻帶和帶阻能濾波器變的容易。多項式配置、數(shù)據(jù)配置、掃描、屏蔽和插值。交互縮放。X-Y和線段剖面。三維線路、混合和固定繪圖。采用白光軸向色差原理（性能優(yōu)于白光干涉輪廓儀與激光干涉輪廓儀）對樣品表面進行快速、重復(fù)性高、高分辨率的三維測量，測量范圍可從納米級粗糙度到毫米級的表面形貌。


一、三維表面形貌儀測量原理：低相干白光同時照射樣品和參考平面，被樣品和參考平面反射的兩束白光發(fā)生干涉后由陣列式CMOS探測器接收，由于探測器直接與信號處理芯片（Smart Pixel技術(shù)）連接，所以陣列上每個像素點的信號都在芯片中完成鎖相放大，背景信號補償和結(jié)果計算輸出，成像于計算機就實現(xiàn)了樣品表面的快速三維形貌測量。    二、三維表面形貌儀技術(shù)特點：    1、每秒一百萬張二維圖像    2、無損表面形貌檢測和分析    3、高精度在線/離線檢測    4、模塊化設(shè)計，超高集成靈活性    5、無需苛刻的工作環(huán)境（振動，噪聲，溫度等）    6、可應(yīng)用于科研和工業(yè)領(lǐng)域


三維表面形貌儀應(yīng)用領(lǐng)域：      工業(yè)：   食品安全在線檢測   微電子集成電路表面形貌在線檢測   印刷電路板品質(zhì)檢測   零件器件表面劃痕損傷檢測   微機械精加工質(zhì)量控制，如鐘表，微機械器件等   電子產(chǎn)品零件在線監(jiān)控，如手機，筆記本電腦，平板等   微流體器件三維形貌檢測   在線檢測設(shè)備集成   證件防偽，安檢    科研：   MEMS器件   微機械零件表面形貌觀察和測量   微光學(xué)器件（太赫茲、紅外、微波、天線陣列）三維形貌表征   生命科學(xué)：生物組織/生物體的 三維形貌測量   偵l查取證：表面劃痕觀察，微小證據(jù)三維形貌快速表征