光波超精密——單軸花崗石氣浮導軌

根據(jù)工作原理，將氣浮導軌分為兩種基本類型：氣動壓力導軌和空氣靜壓導軌。動壓力型如左下圖所示，兩面相對運動，間隙呈楔形，沿運動方向逐漸減小。氣體在楔形間隙內相對運動，由于氣體的粘滯作用，被拖帶壓下，形成動壓懸浮。靜壓力形式如右下圖所示，是通過節(jié)流孔將外部壓縮氣體注入到氣隙中，并借助靜壓力使之懸浮，節(jié)流孔的作用是在氣隙改變時，調節(jié)氣隙中的壓力，使導軌具有剛度?？諝飧⊥矊к壥怯蓪к壓突褰M成的滑動副，滑動片之間是氣膜潤滑。

光波超精密空氣導軌——單軸花崗石氣浮導軌

平面氣浮導軌的摩擦力有一種"√―"形變趨勢，隨著移動速度的增加先下降到一個zui低值，然后逐漸上升到一個平衡值，但不隨移動速度的增加而改變；而zui大摩擦力隨著氣浮軸承進氣壓力的變化而變化.因為測量機移動時的慣性力大小與馬達驅動力、氣浮導軌的摩擦力以及移動部件的質量有關的慣性力會隨著測量機測量速度和加速度的變化而變化.從上面的分析中可以看出，三坐標測量機的zui優(yōu)測量速度和zui優(yōu)加速度都存在著變化.參考文獻[7]的試驗結果證實了這一點。

空氣靜壓導軌是三坐標測量機實現(xiàn)三維運動測量的重要組成部分。早期研制的三坐標摩擦導軌，大多采用滑動摩擦導軌，因其摩擦阻力大，較易磨損，靜、動摩擦系數(shù)差異較大，且在低速時容易出現(xiàn)爬行現(xiàn)象，已不能滿足測量精度和速度的不斷提高，因而逐漸用空氣靜壓導軌代替滑動摩擦導軌。風壓式導軌摩擦系數(shù)小，運行平穩(wěn)，運動精度高，磨損小，是目前三坐標測量機中使用zui廣泛的一種導軌形式。