化學氣相沉積技術(shù)類型介紹

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化學氣相沉積裝置主要的元件就是反應器。按照反應器結(jié)構(gòu)上的差別，我們可以把化學氣相沉積技術(shù)分成開管/封管氣流法兩種類型：

1 封管法這種反應方式是將一定量的反應物質(zhì)和集體放置于反應器的兩邊，將反應器中抽成真空， 再向其中注入部分輸運氣體，然后再次密封， 再控制反應器兩端的溫度使其有一定差別，它的優(yōu)點是：①能有效夠避免外部污染；②無須持續(xù)抽氣就能使是內(nèi)部保持真空。

2 開管法這種制備方法的特點是反應氣體混合物能夠隨時補充。廢氣也可以及時排出反應裝置。以加熱方法為區(qū)分，開管氣流法應分為熱壁和冷壁兩種。激光干涉：激光干涉終點法（IEP）是用激光光源檢測透明薄膜厚度的變化，當厚度變化停止時，則意味著到達了刻蝕終點。前者的加熱會讓整個沉積室壁都會因此變熱，所以管壁上同樣會發(fā)生沉積。冷壁式加熱一般會使用感應加熱、通電加熱以及紅外加熱等等。