真空鍍膜設(shè)備離子鍍的類型及特點

離子鍍是結(jié)合真空蒸鍍和濺射鍍兩種技術(shù)而發(fā)展起來的沉積技術(shù)。在真空條件下，采用適當?shù)姆绞绞瑰兡げ牧险舭l(fā)，利用氣體放電使工作氣體和被蒸發(fā)物質(zhì)部分電離，在氣體離子和被蒸發(fā)物質(zhì)離子的轟擊下，蒸發(fā)物質(zhì)或其反應(yīng)產(chǎn)物在基體上沉積成膜。離子鍍的基本過程包括鍍膜材料的蒸發(fā)、離子化、離子加速、離子轟擊工件表面成膜。根據(jù)鍍膜材料不同的蒸發(fā)方式和氣體的離化方式，構(gòu)成了不同類型的離子鍍，下表是幾種主要的離子鍍。離子鍍具有鍍層與基體附著性能好、繞射性能好、可鍍材質(zhì)廣、沉積速率快等優(yōu)點。

表離子鍍的種類及其特點

種類蒸發(fā)源離化方法工作環(huán)境特點用途

直流放電法電阻輝光放電dc:0.1kv～5kv惰性氣體1pa，0.25ma/cm2結(jié)構(gòu)簡單，膜層結(jié)合力強，但鍍件溫升高，分散性差！耐熱，潤滑等鍍件

弧光放電法電子束、燈絲弧光放電dc:100v高真空1.33x10-4pa離化率高，易制成反應(yīng)膜，可在高真空下成膜，利于提高質(zhì)量切削工具、金屬裝飾等鍍件

空心陰極法空心陰極等離子體電子束dc:0v～200v惰性氣體或反應(yīng)氣體離化率高，蒸發(fā)速度大，易獲得高純度膜層裝飾、耐磨等鍍件

調(diào)頻激勵法電阻、電子束射頻電場13.56mhzdc:0.1kv～5kv惰性氣體或反應(yīng)氣體離化率高，膜層結(jié)合力強，鍍件溫升低，但分散性差光學(xué)、半導(dǎo)體等鍍件

電場蒸發(fā)法電子束二次電子dc:1kv～5kv真空不純氣體少，能形成較好的膜電子元件

多陰極法電阻、電子束熱電子dc:0v～5kv惰性氣體或反應(yīng)氣體低速電子離化效果好裝飾、電子、精密機械等零件

聚焦離子束法電阻聚集離子束dc:0v～5kv惰性氣體因離子聚束，膜層結(jié)合力強電子元件

活性反應(yīng)法電子束二次電子dc:200v反應(yīng)氣體o2、n2、ch4、c2h4等金屬與反應(yīng)氣體組合能制備多種傾倒物膜層電子、裝飾、耐磨等鍍件

真空鍍膜機PVD鍍膜常規(guī)知識介紹

真空鍍膜機PVD技術(shù)可以應(yīng)用到海上用品、首飾、工藝品、門窗五金、廚衛(wèi)五金、燈具、海上用品、首飾、工藝品，及其它裝飾性制品的加工制造，應(yīng)用是非常的廣泛，很多客戶采購設(shè)備時，對這方面的相關(guān)知識也是非常的感興趣，今天至成真空小編，為大家介紹一下真空鍍膜機PVD鍍膜常規(guī)知識，希望能幫助大家提升相關(guān)知識和技能。

PVD鍍膜(離子鍍膜)技術(shù)，其具體原理是在真空條件下，采用低電壓、大電流的電弧放電技術(shù)，利用氣體放電使靶材蒸發(fā)并使被蒸發(fā)物質(zhì)與氣體都發(fā)生電離，利用電場的加速作用，使被蒸發(fā)物質(zhì)及其反應(yīng)產(chǎn)物沉積在工件上。

PVD鍍膜膜層的特點,采用PVD鍍膜技術(shù)鍍出的膜層，具有高硬度、高耐磨性(低摩擦系數(shù))、很好的耐腐蝕性和化學(xué)穩(wěn)定性等特點，膜層的壽命更長;同時膜層能夠大幅度提高工件的外觀裝飾性能。

真空鍍膜機PVD鍍膜技術(shù)目前主要應(yīng)用的行業(yè),PVD鍍膜技術(shù)的應(yīng)用主要分為兩大類：裝飾鍍膜和工具鍍膜。裝飾鍍的目的主要是為了改善工件的外觀裝飾性能和色澤同時使工件更耐磨耐腐蝕延長其使用壽命;這方面主要應(yīng)用五金行業(yè)的各個領(lǐng)域，如門窗五金、鎖具、衛(wèi)浴五金等行業(yè)。工具鍍的目的主要是為了提高工件的表面硬度和耐磨性，降低表面的摩擦系數(shù)，提高工件的使用壽命;這方面主要應(yīng)用在各種刀剪、車削刀具(如車刀、刨刀、銑刀、鉆頭等等)、各種五金工具(如螺絲刀、鉗子等)、各種模具等產(chǎn)品中

因此現(xiàn)在市面上有多功能離子真空鍍膜機的出現(xiàn)，通過大量試驗及工業(yè)化應(yīng)用，本項目得出以下結(jié)論：

（1）所設(shè)計的多種鍍膜技術(shù)復(fù)合的多功能離子鍍膜機是成功的。

（2）該設(shè)備可大面積低成本制備表面光潔致密、平滑細膩，性能優(yōu)異的類金剛石膜及金屬氮（或碳）化物多元多層膜。

（3）采用特殊的多層梯度中間過渡層及摻雜技術(shù)，降低了內(nèi)應(yīng)力，提高了膜/基結(jié)合力，有利于膜層生長（厚達6mm）。

（4）所制備DLC膜具有優(yōu)異的綜合性能：硬度>20GPa（高達37.25GPa），厚度可調(diào)（厚達6mm），膜/基結(jié)合力>50N（高達100N），摩擦系數(shù)<0.2，膜層光潔細膩。

（5）所開發(fā)出的基體/Cr/CrN/CrTiAlN/CrTiAlCN/CrTiC/DLC多元多層耐磨耐熱自潤滑涂層具有良好的綜合性能：硬度高達28.7GPa，厚度1-4mm可調(diào)，膜/基結(jié)合力大于70N，摩擦系數(shù)小于0.2。

（6）所研制的耐磨減摩膜已成功應(yīng)用于多種高精密工模具以及精密關(guān)鍵部件上。應(yīng)用結(jié)果表明：膜層的表面強化效果顯著，可大幅度提高產(chǎn)品質(zhì)量及使用壽命。