氦質譜檢漏儀的應用

（1）電子行業(yè)，微波發(fā)射管、電子管、晶體管、集成電路、密封繼電器、各類傳感器、心臟起博器。

（2）真空行業(yè)，儀器、儀表行業(yè)，管道、接頭、閥門、波紋管、各種真空泵、各類排氣機組、電鏡、質譜儀、電子束離子速暴光機、激光軸分離器、鍍膜機、薄膜真空計。

（3）核工業(yè)，鈾分離裝置、存儲裝置、核發(fā)電裝置。

（4）制冷行業(yè)，冰箱、空調、汽車用空調、蒸發(fā)器、冷凝器、壓縮機、低溫儲槽。

（5）不銹鋼保溫器皿，真空保溫杯、瓶、鍋、飯盒等。

（6）核工業(yè)、航空工業(yè)、航天工業(yè)、船舶工業(yè)、軍事電子六大類。

氦質譜檢漏儀的結構

質譜室，形象的說，質譜室是氦質譜檢漏儀的心臟，由離子源、分析器和電氣系統(tǒng)三個部分組成，并將冷陰極磁控規(guī)也放在其內，共用其磁場。為了有利于微小的粒子流放大，將一級放大用高阻及靜電計管也放在質譜室之內。質譜室殼由非磁性材料制成，內部抽空，而外部設置成磁鐵形成磁分析器的磁場。氦質譜檢漏儀是由質譜室、真空系統(tǒng)、電氣系統(tǒng)組成，有時還需要配置輔助的真空系統(tǒng)。

氦質譜檢漏儀的電氣部分。氦質譜檢漏儀除了主機供電部件和主機控制部件外，還有幾組主要電路：

1、離子源電源。為離子源提供加速、聚集、拒斥電壓。

2、發(fā)射電流穩(wěn)定電路。穩(wěn)定和調節(jié)發(fā)射電流。

3、離子流放大器和單響報警器。將離子流進行放大并將輸出信號送入輸出儀表或顯示器和音響報警器。

4、真空測量電路。一般用熱偶計測量低真空，用冷陰極磁控放電真空計測量高真空。

5、燈絲保護電路。當質譜室正常工作壓力被破壞后，立即切斷燈絲供電回路，以保護燈絲。

6、其他電路。不同型號的氦質譜檢漏儀所具有的功能不盡相同，所以電路也有不少差別，這在各自的說明書中都有說明。

正壓法氦質譜檢漏

采用正壓法檢漏時，需對被檢產品內部密封室充入高于一個大氣壓力的氦氣，當被檢產品表面有漏孔時，氦氣就會通孔漏孔進入被檢外表面的周圍大氣環(huán)境中，再采用吸槍的方式檢測被檢產品周圍大氣環(huán)境中的氦氣濃度增量，從而實現(xiàn)被檢產品泄漏測量。按照收集氦氣方式的不同，又可以將正壓法分為正壓吸槍法和正壓累積法。