水環(huán)式真空泵管路安裝正確方法

1真空系統(tǒng)出口與泵的入口之間距離越短越好；

2管路拐彎越少越好； 進口管路應高于泵的入口中心線，出口管應避免有引起較大阻力的因素，如出口管上爬、直角拐彎等；

3真空泵在停機時，真空泵內(nèi)部的水位不能高與真空泵自身高度的一半，防止真空泵在啟動時電流過高。

4配接進出口管直徑應與真空泵的進出口直徑一致，如真空系統(tǒng)較小，進出口配接管直徑可以小，且出口直徑應大于或等于入口管直徑；

在粉塵較多的真空工藝如何選擇真空泵，才能讓真空泵既能夠滿足工藝要求，同時又能夠長期穩(wěn)定的運行，延長真空泵維修維保時間，節(jié)約運行成本，保證生產(chǎn)設備的生產(chǎn)效率，保證設備產(chǎn)能。

在CVD、PECVD、ALD等工藝中，真空腔體會通入各種各樣的工藝氣體來完成產(chǎn)品表面薄膜工藝，這些工藝氣體在反應過程中有時會大量粉塵或容易結(jié)晶，如果粉塵和結(jié)晶物不能及時排除真空泵外，就容易在真空泵內(nèi)沉積，堆積到一定量時就會造成真空泵葉輪、轉(zhuǎn)子等卡滯，需要及時下機保養(yǎng)和維護，否則的話就會造成真空泵的更大的損壞，但是干式泵的維護成本又比較昂貴，選擇一臺耐粉塵，維保周期長的真空泵是非常重要的。

無油真空泵就是工作期間不用油做為工作介質(zhì)和密封的，主要是在工作空間內(nèi)沒有油，如渦旋泵、螺桿泵、低溫泵等，共同組成的系統(tǒng)可以獲得無油潔凈的空間，這是真空發(fā)展的趨勢。

無油節(jié)能真空泵

氣缸內(nèi)的活塞上有活塞環(huán)，保證被活塞間隔開的氣缸兩端氣密封性。WLW型往復真空泵活塞在氣缸內(nèi)做往復運動時，不斷的改變氣缸兩端的容積，一端容積擴大吸入氣體，水環(huán)無油節(jié)能真空泵價格，另一端容積縮小排出氣體?；钊c氣閥的聯(lián)合作用，周期地完成 吸氣和排氣作用，隔油腔及充氣腔將機械傳動部分與氣體流通部分隔開，新型無油節(jié)能真空泵價格，以防止油漏入、或帶入氣缸內(nèi)。當要求抽吸氣回收時，充氣腔內(nèi)可充入該種氣體。以防止空氣漏入氣缸內(nèi)而影響氣體純度。

真空泵的泵腔內(nèi)壓力過低，無油節(jié)能真空泵價格，泵腔內(nèi)會發(fā)作嚴重的汽蝕，形成泵的振動、噪聲過大而影響運用的時分，無油節(jié)能真空泵廠家，能夠在泵的吸氣區(qū)域增加一個真空調(diào)理閥，在上述狀況發(fā)作時，能夠恰當翻開調(diào)理閥以緩和振動和噪聲的影響，或者是降低真空度，到達需求的真空度請求。

真空泵結(jié)合工程實例，采用典型工況時間段方法簡化了水泵運行總能耗計算。對不同并聯(lián)臺數(shù)及不同運行控制方式下真空泵循環(huán)水泵變頻調(diào)速運行的節(jié)能特性進行了分析研究。利用水泵相似定律，給出了確定變轉(zhuǎn)速運行時各工況點水泵效率的等效率曲線法。