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開始并沒有在每道設(shè)置固定的官員和辦事機構(gòu)，只是臨時差遣中央或員兼任大使去進行巡察,名稱有巡察、按察、黜陟、巡撫、安撫、存撫等使，分道有時也不是十個。武后時改御史臺為左右肅政臺，天授二年（691）發(fā)十道存撫使,以右肅政臺中丞知大夫事李嗣真等為之，漸趨固定化。中宗神龍元年(705)，復(fù)為御史臺，二年始置十道巡察使,由左右御史臺及內(nèi)外五品以上官員充任，兩年一替

有專停所屬刺史職務(wù)，差人權(quán)攝的任免權(quán)，故"道"已漸向州的上一級行政機構(gòu)轉(zhuǎn)化。不久，邊境諸道的采訪使又多為節(jié)度使兼任，加上兼任支度、營田使（見支度使），使軍、民、財政三權(quán)集于一身，卒致釀成安史之亂和藩鎮(zhèn)割據(jù)之禍。

由于十道監(jiān)察區(qū)域過大，巡察不易，武周時開始有將其縮小的趨勢。如武周曾析江南道置黔中道，析嶺南道置安南道；中宗時江南道為東、西兩道，睿宗又析山南道為東西兩道，隴右道析出河西道。但都還是臨時措施,未成定制。到了玄宗開元二十一年（733）才正式分十道為十五道