質(zhì)量流量控制器概述

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熱式質(zhì)量流量控制器，利用氣流流過毛細(xì)管，改變毛細(xì)管溫度分布，造成上下游溫差方法，而測(cè)得氣體質(zhì)量流量。不同于容積式流量計(jì)，其流量精度不受氣體壓力、環(huán)境溫度影響。由于上下游溫差總是實(shí)時(shí)反應(yīng)氣流瞬時(shí)流量， 所以特別適用于過程控制中的氣體流量的精密測(cè)量和控制。

質(zhì)量流量控制器簡(jiǎn)介

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使用范圍： 質(zhì)量流量控制器廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、真空鍍膜、分析、化工、環(huán)境等 行業(yè)的氣流測(cè)量與控制。

特點(diǎn)：流量精度高、線性好、零漂小、氣流響應(yīng)速度快、過沖小。

質(zhì)量流量計(jì)的用途

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1. 鍋爐、裂解爐用燃料氣質(zhì)量流量測(cè)量控制；

2. 石油化工、采油、火炬氣質(zhì)量流量測(cè)量；

3. 燃燒爐用空氣質(zhì)量流量測(cè)量控制;燃汽輪機(jī)氫氣質(zhì)量流量和控制；

4. 食品加工及飲料氣體質(zhì)量流量和控制；

5. 水廠氣質(zhì)量流量控制；

6. 生產(chǎn)半導(dǎo)體時(shí)高純度氣體質(zhì)量流量測(cè)量；

7. 催化劑、化學(xué)添加劑質(zhì)量流量測(cè)量；

8. 泵的保護(hù)控制、泵密封、潤(rùn)滑油池泄漏檢測(cè)；

9. 空調(diào)系統(tǒng)控制；

10. 儀表用空氣、工藝空氣、氮?dú)獾荣|(zhì)量流量測(cè)量。

11. 氣體分析儀，大氣采樣器

12. 泄露監(jiān)測(cè)

13. 氣體分配系統(tǒng)

14. 實(shí)驗(yàn)室氣體測(cè)量

15. 醫(yī)學(xué)應(yīng)用

16. 燃料電池

17. 應(yīng)用氣體：Air, O2, N2, He, Ar, CO2, H2, CH4, C3H8, N2O, SF6, C3H6, CO, C4H10, 等絕大多數(shù)氣體。

MFC質(zhì)量流量控制簡(jiǎn)介

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MFC為Mass Flow Controller的縮寫，即質(zhì)量流量控制。流體在旋轉(zhuǎn)的管內(nèi)流動(dòng)時(shí)會(huì)對(duì)管壁產(chǎn)生一個(gè)力，它是科里奧利在1832年研究水輪機(jī)時(shí)發(fā)現(xiàn)的，簡(jiǎn)稱科氏力。質(zhì)量流量計(jì)以科氏力為基礎(chǔ)，在傳感器內(nèi)部有兩根平行的T型振管，中部裝有驅(qū)動(dòng)線圈，兩端裝有拾振線圈，變送器提供的激勵(lì)電壓加到驅(qū)動(dòng)線圈上時(shí)，振動(dòng)管作往復(fù)周期振動(dòng)，工業(yè)過程的流體介質(zhì)流經(jīng)傳感器的振動(dòng)管，就會(huì)在振管上產(chǎn)生科氏力效應(yīng)，使兩根振管扭轉(zhuǎn)振動(dòng)，安裝在振管兩端的拾振線圈將產(chǎn)生相位不同的兩組信號(hào)，這兩個(gè)信號(hào)差與流經(jīng)傳感器的流體質(zhì)量流量成比例關(guān)系。計(jì)算機(jī)解算出流經(jīng)振管的質(zhì)量流量。不同的介質(zhì)流經(jīng)傳感器時(shí)，振管的主振頻率不同，據(jù)此解算出介質(zhì)密度。安裝在傳感器器振管上的鉑電阻可間接測(cè)量介質(zhì)的溫度。