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發(fā)布時(shí)間:2021-07-03 11:16  







原來(lái)磁場(chǎng)強(qiáng)弱雖不好進(jìn)行控制,但同時(shí)工件也在同時(shí)運(yùn)轉(zhuǎn),且是靶材原子多次沉積此案結(jié)束鍍膜工序,在一段時(shí)間內(nèi)雖然某些部位厚,某些部位薄,但另一個(gè)時(shí)間內(nèi),磁場(chǎng)強(qiáng)的作用下在原來(lái)薄的部位沉積上厚的,在厚的部位沉積上薄的,如此多次,整個(gè)膜層成膜后,均勻性還是比較不錯(cuò)的。

亞氣的送氣均勻性也會(huì)對(duì)膜層均勻性產(chǎn)生影響,其原理實(shí)際上和真空度差不多,因?yàn)閬啔獾倪M(jìn)入,真空室內(nèi)壓強(qiáng)會(huì)產(chǎn)生變化,均勻的壓強(qiáng)大小可以控制成磁控濺射真空鍍膜機(jī)膜厚度的均勻性。


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光學(xué)鍍膜零件表面鍍膜后,光在膜層層上多次反射和透射,形成多光束干涉,控制膜層的折射率和厚度,可以得到不同的強(qiáng)度分布,這是干涉鍍膜的基本原理。



光學(xué)鍍膜的前處置做工請(qǐng)求比光學(xué)鍍膜越發(fā)兇險(xiǎn)。這是由于在光學(xué)鍍膜過(guò)程中試件作為陰極,能夠經(jīng)過(guò)調(diào)理陰極的極化度等各項(xiàng)參數(shù)來(lái)得到鍍層。


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