排氣：其主要來源于涂膠、顯影工序和各工序使用清洗過程時所產(chǎn)生，需經(jīng)有機廢氣處理設(shè)備處理后，再由風(fēng)機排入大氣。堿性剝離排氣：主要來源為陣列工程的剝離工序所使用之剝離液,廢氣經(jīng)過冷凝吸收器,將廢氣中的剝離液冷卻下來,冷凝器吸收處理后的廢氣所含的廢氣濃度會大為下降,然后做水洗中和處理，再由風(fēng)機排大氣。應(yīng)急排氣：當(dāng)潔凈室機臺端風(fēng)管內(nèi)探頭感應(yīng)氣體濃度過高時，緊急啟用以使生產(chǎn)正常并維持室內(nèi)環(huán)境。

組裝時應(yīng)盡量調(diào)整風(fēng)道的中心度和水平度，避免風(fēng)管扭曲或上下起波，左右擺龍，每段風(fēng)道不宜超過10m.組裝時，墊片應(yīng)墊平，法蘭螺栓應(yīng)均勻擰緊，螺母帽均朝向同一方向。

風(fēng)管就位：風(fēng)管就位前應(yīng)檢查全部支架的水乎度和標(biāo)高、檢查支架的牢固程度，風(fēng)管就位可采用直接和吊具兩種方法。對風(fēng)管斷面較小，又位置較低的可采用人工就位方法，只需搭設(shè)簡易腳手架即可。當(dāng)風(fēng)管斷面較大且管段較長時，可采用滑輪、倒鏈、大繩等方法吊裝。

為了便于風(fēng)道就位，一般多采用將風(fēng)道吊在腳手架上，然后再將其抬放在風(fēng)道支架上的方法。腳手架應(yīng)沿其風(fēng)道長度方向搭設(shè)，高度和位置應(yīng)適合施工操作，吊裝順序應(yīng)先干管后支、立管，

吊起時，吊點應(yīng)牢固，兩吊點應(yīng)均勻受力。垂直風(fēng)管可采用人工和大繩輔助就位。調(diào)整風(fēng)管保證垂直度要求。

風(fēng)道調(diào)直：就位在支架上的風(fēng)道，應(yīng)撥正位置，調(diào)整風(fēng)道橫平豎直，然后再按圖集要求固定。

螺旋風(fēng)管是用金屬帶料卷制成螺旋形咬縫的薄壁管，風(fēng)管廠家,通風(fēng)風(fēng)管圓形，無焊接，不漏氣，不漏水，多用于送風(fēng)和散裝物料輸送，代替?zhèn)鹘y(tǒng)的白鐵管（即手工咬縫鐵管）。是風(fēng)管的一種，全機制，直管無需手工敲打。

其主要用途如下：

(1) 送風(fēng)，包括通氣，如送鮮風(fēng)和排氣，這個范圍較廣，如工廠車間，生產(chǎn)場地空氣，由于有害氣體產(chǎn)生需要排出室外，又需要把室外空氣輸送至室內(nèi)。這時就要使用流量大而壓力小的空氣輸送管道，螺旋風(fēng)管就比較適用，一般情況下使用鍍鋅鐵管，有腐蝕性及特別潮濕場所使用不銹鋼管。