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凈化車間壓差的控制
維持壓差的控制措施有:(1)回風(fēng)口控制,即通過回風(fēng)口上的百葉可調(diào)格柵或阻尼層改變其阻力來調(diào)整回風(fēng)量,達到控制室內(nèi)壓力的目的。這是一種簡單的控制方式,特點是結(jié)構(gòu)比較簡單、經(jīng)濟。格柵控制調(diào)節(jié)方便,但格柵不易密閉,且調(diào)節(jié)幅度不大,同時也會對氣流方向產(chǎn)生影響。一般使用初效泡沫塑料或初效無紡布作為阻尼層,通過改變回風(fēng)口的阻力來調(diào)整回風(fēng)量,控制潔凈室內(nèi)外的壓差。隨著阻尼層使用時間增長,其阻力增加,室內(nèi)正壓有加大的趨向,因此應(yīng)定期進行清洗,阻尼層可以重復(fù)使用。水路管道檢查:水路管道檢查至關(guān)重要,這相關(guān)以后的水路安全隱患問題。(2)余壓閥控制通過手動或自動調(diào)整余壓閥上的平衡壓塊,改變壓閥的閥門開度,實現(xiàn)室內(nèi)的壓力控制。余壓閥一般設(shè)在潔凈室下風(fēng)側(cè)墻上。采用這種措施時,潔凈室內(nèi)需有足夠的剩余正壓值,如果排風(fēng)量發(fā)生變化,需重新調(diào)整余壓閥。余壓閥安裝簡單,但長期使用后關(guān)閉不嚴。如果余壓閥完全關(guān)閉時室內(nèi)正壓值仍低于要求值,則需改用其他方式控制室內(nèi)壓差。(3)調(diào)節(jié)回風(fēng)閥或排風(fēng)閥根據(jù)檢測的室內(nèi)壓力值,調(diào)節(jié)回風(fēng)管上(或排風(fēng)管上)的電動閥,改變回風(fēng)量(或排風(fēng)量),控制潔凈室內(nèi)的壓力值。(4)差壓變送器控制,通過差壓變送器檢測室內(nèi)的壓力,然后調(diào)整新風(fēng)量,新風(fēng)(OA)管路上的電動閥(MD)閥門開大(變?。?。
?潔凈室中的溫濕度控制
濕度過高產(chǎn)生的問題更多。相對濕度超過55%時,冷卻水管壁上會結(jié)露,如果發(fā)生在精密裝置或電路中,就會引起各種事故。相對濕度在50%時易生銹。7、在帶電設(shè)備附近搭拆腳手架時,應(yīng)停電進行,否則必須遵守下列規(guī)定:(1)、嚴禁跨越35千伏及以上帶電設(shè)備。此外,濕度太高時將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學(xué)吸附在表面耐難以清除。相對濕度越高,粘附的難去掉,但當相對濕度低于30%時,又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面,同時大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)生擊穿。對于硅片生產(chǎn)jia溫度范圍為35—45%。
?電子產(chǎn)業(yè)仰賴潔凈技術(shù)
潔凈技術(shù)對我國電子信息產(chǎn)業(yè)發(fā)展意義重大,因為它與產(chǎn)品的成品率有著直接關(guān)系。電子行業(yè)對生產(chǎn)環(huán)境的要求非常高,特別是對直徑小于1微米的顆粒特別敏感,因為它們能引起金屬層之間的短路。上海市室內(nèi)環(huán)境凈化協(xié)會在與電子信息潔凈用戶交流過程中,潔凈室節(jié)能、潔凈室的化學(xué)污染物質(zhì)的控制、潔凈室氣流組織、潔凈室使用人的培訓(xùn)及潔凈室運行管理等問題都是熱門話題。這是因為和空調(diào)系統(tǒng)相比,凈化系統(tǒng)新風(fēng)的塵濃負荷比高達90%以上,因此,為了運行質(zhì)量必須強調(diào)新風(fēng)三級過濾。目前由于國際上大型電子企業(yè)紛紛到中國建廠,潔凈室需求也隨之增加,為其提供潔凈技術(shù)支持的國際上幾個的潔凈技術(shù)公司和工程公司也跟著這些企業(yè)移師中國,群雄逐鹿,搶占市場。中國的潔凈企業(yè)也快速發(fā)展,在江蘇吳江地區(qū),從事潔凈設(shè)備、施工、建造的企業(yè)已經(jīng)多達2000多家。而中國在潔凈室用手套、抹布和潔凈服等產(chǎn)品生產(chǎn)領(lǐng)域已經(jīng)成為世界上的主要生產(chǎn)國。隨著我國工業(yè)發(fā)展的日益高科技化,產(chǎn)品日益精密化、微型化,對潔凈環(huán)境的依賴也越來越強,潔凈行業(yè)在我國存在著巨大的市場空間。