半導(dǎo)體工業(yè)用的氣體統(tǒng)稱電子氣體。按其門類可分為純氣，高純氣和半導(dǎo)體特殊材料氣體三大類。特殊材料氣體主要用于外延，摻雜和蝕刻工藝；高純氣體主要用作稀釋氣和運(yùn)載氣。電子氣體是特種氣體的一個(gè)重要分支。正常的HID燈光通量是2400流明左右，是普通鹵素?zé)舻娜兑陨?。電子氣體按純度等級(jí)和使用場(chǎng)合，可分為電子級(jí)，LSI（大規(guī)模集成電路）級(jí)，VLSI（超大規(guī)模集成電路)級(jí)和ULSI(特大規(guī)模集成電路）級(jí)。    

           近幾年來，智研數(shù)據(jù)研究中心隨著我國(guó)超大規(guī)模集成電路、平板顯示器、光伏發(fā)電等產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展，電子氣體市場(chǎng)需求量明顯增長(zhǎng)，電子特種氣體的國(guó)產(chǎn)化已是大勢(shì)所趨。據(jù)了解，我國(guó)在國(guó)產(chǎn)化方面取得可喜進(jìn)展：國(guó)產(chǎn)高純氨改變了國(guó)外氣體公司壟斷市場(chǎng)的格局，高純四氟化碳“有價(jià)無貨”時(shí)代也宣告結(jié)束，高純已成功打開國(guó)內(nèi)市場(chǎng)。由于它的透霧能力特別強(qiáng)常用作有霧導(dǎo)航燈，廣泛用于機(jī)場(chǎng)、車站、碼頭。

電子氣體主要包括：、、乙、化氫、硒化氫、、四氟化碳、化三氫、、三氯化硼、三氟甲烷、三氟化氮、、六、六氟化鎢、六氟化硫、、磷烷、、、氣、氨氣、電子級(jí)等.

其中六氟化硫、電子級(jí)、、磷烷使用較多。

顏色或其他標(biāo)記以及瓶閥出口螺紋與所裝氣體的規(guī)定不相符的氣瓶，除不予充氣外，還應(yīng)查明原因，報(bào)告上級(jí)主管部門或當(dāng)?shù)貏趧?dòng)部門，進(jìn)行處理。

      無剩余壓力的氣瓶，充裝前應(yīng)將瓶閥卸下，進(jìn)行內(nèi)部檢查。經(jīng)確認(rèn)瓶?jī)?nèi)無異物，新投入使用或經(jīng)內(nèi)部檢驗(yàn)后次充氣的氣瓶，充氣前都應(yīng)按規(guī)定先置換去瓶?jī)?nèi)的空氣，并經(jīng)分析合格后方可充氣。

      檢驗(yàn)期限已過的氣瓶、外觀檢查發(fā)現(xiàn)有重大缺陷或?qū)?nèi)部狀況有懷疑的氣瓶，應(yīng)先送檢驗(yàn)單位，按規(guī)定進(jìn)行技術(shù)檢驗(yàn)與評(píng)定。

1.六氟化硫新氣或六氟化硫再生氣體中本身含有水分

在生產(chǎn)的過程當(dāng)中混入的水分是六氟化硫新氣中水分的主要來源，因?yàn)榱蛟诤铣芍螅枰?jīng)過一系列的工藝：熱解、水洗和堿洗以及干燥吸附等，復(fù)雜的生產(chǎn)環(huán)節(jié)也導(dǎo)致遺留了少量的水分。六氟化硫再生氣體中的水分主要是再生過程中過濾器工作不正?；蛭絼└鼡Q不及時(shí)造成的，向設(shè)備進(jìn)行充氣抑或是的時(shí)候，水分就會(huì)進(jìn)入設(shè)備的內(nèi)部?；旌蠚怏w廠家分享氣體鋼瓶的使用及貯存規(guī)范1）應(yīng)設(shè)置專用倉庫貯存氣瓶，氣瓶倉庫應(yīng)符合《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》的有關(guān)規(guī)定。此外六氟化硫氣瓶在長(zhǎng)時(shí)間存放的過程當(dāng)中，倘若氣瓶的密封不好的話，那么大氣當(dāng)中的水分便會(huì)直接向內(nèi)進(jìn)行滲透，從而使得六氟化硫氣體當(dāng)中的含水量增加。

2.六氟化硫設(shè)備在組裝維修檢查和充過程當(dāng)中所混入的水分

在組裝以及維修檢查高壓電器設(shè)備的時(shí)候，也許會(huì)把空氣當(dāng)中所包含的水分帶入設(shè)備的內(nèi)部中。即使設(shè)備在組裝完畢之后仍需用高純氮?dú)鉀_洗以及抽真空干燥處理，但是，附著在設(shè)備的內(nèi)壁上抑或是滅弧室元件以及拉桿等部件的水分也不會(huì)被全部排除干凈。即使設(shè)備在組裝完畢之后仍需用高純氮?dú)鉀_洗以及抽真空干燥處理，但是，附著在設(shè)備的內(nèi)壁上抑或是滅弧室元件以及拉桿等部件的水分也不會(huì)被全部排除干凈。如果充管道的保存方式不當(dāng)，對(duì)于管道的沖洗不完全的話，在進(jìn)行充的時(shí)候也會(huì)造成水分進(jìn)入到設(shè)備的內(nèi)部。

3.絕緣材料以及設(shè)備當(dāng)中的吸附劑其本身含有水分

環(huán)氧樹脂澆注品時(shí)六氟化硫電氣設(shè)備當(dāng)中的固體絕緣的主要的材料，其含水量通常在0.1%～0.5%這個(gè)范圍中，這些在固體絕緣材料中的水分會(huì)伴隨著時(shí)間的流逝而慢慢釋放掉。因?yàn)槲絼╋柡褪?，平衡吸附量缺乏，?duì)于增多的水分便沒有辦法再進(jìn)行吸收，這便造成了設(shè)備當(dāng)中六氟化硫氣體含水量的增多。微電漿元件科技是結(jié)合電漿科學(xué)，光電科學(xué)與材料科學(xué)的一個(gè)新領(lǐng)域，并提供了電漿科學(xué)一個(gè)新發(fā)展空間。

4.大氣中的水分經(jīng)由六氟化硫電氣設(shè)備密封薄弱環(huán)節(jié)而滲透到設(shè)備的內(nèi)部