無塵車間工程的潔凈度不合格的原因，1.潔凈廠房清涪不徹底，毋庸置疑，潔凈廠房在檢測前必須徹底清掃，才能進(jìn)行檢測。要求后的擦拭人員，身著潔凈工作服進(jìn)行清掃，以排除清掃人員人體造成的污染。清洗劑可以選用自來水、純水、有ji溶劑、中性洗滌劑等。有防靜電要求的，后用沾有防靜電液的抹布擦拭一遍。2.送風(fēng)管或過濾器密封不好，這種現(xiàn)象是施工粗糙造成的，在驗(yàn)收時(shí)會(huì)表現(xiàn)出在同一系統(tǒng)中某個(gè)房間或局部不合格，改進(jìn)的方法是，送風(fēng)管采用漏光試驗(yàn)法檢漏，過濾器用粒子計(jì)數(shù)器對(duì)過濾器的斷面、封膠、安裝框架進(jìn)行掃描，找出泄露位置，精心密封。


凈化工程潔凈室的溫濕度主要是根據(jù)您的加工技術(shù)請(qǐng)求來斷定，在滿意加工技術(shù)的條件下，必選應(yīng)當(dāng)思考人的舒適感。隨著空氣潔凈度請(qǐng)求的進(jìn)步，技術(shù)對(duì)溫濕度的請(qǐng)求也越來越高，有必要到達(dá)必定的溫濕度等級(jí)。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光技術(shù)中，作為掩膜板資料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差請(qǐng)求越來越小。直徑100um的硅片，溫度上升1度，就導(dǎo)致了0.24um線性膨脹，所以有必要有±0.1度的恒溫，一起請(qǐng)求濕度值通常較低，因?yàn)槿顺龊菇窈螅瑢?duì)商品將有污染，特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間，這種車間不宜超越25度。


空氣凈化工程的作業(yè)原理是：用風(fēng)機(jī)將空氣抽入機(jī)器，經(jīng)過內(nèi)置的濾網(wǎng)過濾空氣，首要能夠起到過濾粉塵、異味、有毒氣體和殺滅有些細(xì)菌的作用。濾網(wǎng)又分：集塵濾網(wǎng)、去甲醛濾網(wǎng)、除臭濾網(wǎng)、HEPA濾網(wǎng)等。其間本錢比較高的即是HEPA濾網(wǎng)，它能起到分化有毒氣體和滅菌作用，格外是按捺二次污染。這類商品的特點(diǎn)是風(fēng)機(jī)功用以及濾網(wǎng)的質(zhì)量決定凈化作用，機(jī)器的放置以及室內(nèi)規(guī)劃影響凈化是不是徹底，室內(nèi)凈化作用不均衡，也難以徹底，濾網(wǎng)更換費(fèi)用較高。