熱泵機組根據(jù)冷卻方式可分為風(fēng)冷式熱泵機組、水源熱泵機組和土壤熱泵三種。當(dāng)空氣中的粉塵通過電場時，粉塵受到負(fù)離子的沖擊而帶電，帶有靜電場后的粉塵電荷也同樣受到靜電場的作用，向陽極（集塵極）的運動是，到達陽極后釋放電荷。活性炭的多孔結(jié)構(gòu)為其提供大量的表面積，能與氣體（雜質(zhì)）完全接觸，這使得活性炭具有吸附性能，很容易達到吸收和收集雜質(zhì)的目的。像磁力一樣，所有分子之間都具有相互吸引力。消聲器對氣流的阻力應(yīng)小,裝置消聲器后增加的阻力損失要控制在機組正常運行容許范圍內(nèi)。

成品保護后續(xù)工序施工時，地板面需蓋上干凈的布匹，防止損壞和污染。輔助用房地磚面層：按設(shè)計要求和有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)選材，粘貼做到不空鼓，平整度、高低差＜1mm，磚縫用專用的勾縫膠勾縫，做到平整、與地磚粘結(jié)牢固。潔凈手術(shù)室門宜采用設(shè)有自動延1時關(guān)閉裝置的電動懸掛式自動推拉門，設(shè)計為彈簧門，應(yīng)以鋁合金制作，要達到密封和易潔凈的要求。溫濕度要求：夏季溫度設(shè)置在18～28℃，冬季為16～20℃，濕度好在30%（冬季）～70%（夏季）之間。

可以認(rèn)為,當(dāng)今微污染控制領(lǐng)域諸多科技成果的出現(xiàn)無不與集成電路生產(chǎn)的飛速發(fā)展有關(guān)。集成電路工廠的前工序(硅片加工)對微環(huán)境控制為嚴(yán)格。在防微振方面,要求工廠建造在遠離鐵路、機場、公路干線且綠化較好的地區(qū),廠區(qū)總平面布置要求單建的動力站房與潔凈廠房之間留有足夠的距離。我國對防微振的研究及工程實踐始于20世紀(jì)60年代初期,經(jīng)歷了幾代人的努力,不僅建立和完善了防微振理論,開發(fā)了防微振用系列化隔振產(chǎn)品?？傮w上來說，正是因為很難有效控制空氣分子污染，致使該問題成為了影響相關(guān)產(chǎn)品成品率的重要問題。